[发明专利]一种全自动晶圆胶膜环切装置

权利要求书

1.一种全自动晶圆胶膜环切装置，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)两端分别设有送膜箱(2)和牵拉装置(3)；所述工作台(1)上方设有上料装置(4)和环切装置(5)，所述工作台(1)下方设有下料装置(6)；所述上料装置(4)靠近送膜箱(2)、所述环切装置(5)靠近牵拉装置(3)，所述下料装置(6)位于环切装置(5)下方；

所述送膜箱(2)包括箱体(201)和箱盖(202)，所述箱体(201)靠近牵拉装置(3)的一侧设有送膜孔(7)，所述箱体(201)内设有送膜杆(8)，所述送膜杆(8)两端分别固定至箱体(201)内壁，所述送膜杆(8)外壁套有与之转动连接的送膜轴(9)，所述送膜轴(9)外套有胶膜卷(10)；

所述牵拉装置(3)包括两个固定柱(301)、牵拉杆(302)和牵拉电机(303)，所述固定柱(301)固定至工作台(1)，所述牵拉杆(302)两侧分别与两个固定柱(301)转动连接，所述牵拉杆(302)一端与牵拉电机(303)的转轴端固定；

位于环切装置(5)下方的工作台设有凹槽(11)，所述凹槽(11)内设有开合板(12)，所述开合板(12)与凹槽(11)内壁铰连接；

所述工作台(1)一侧设有控制开合板(12)开合的驱动装置。

2.根据权利要求1所述的一种全自动晶圆胶膜环切装置，其特征在于：所述上料装置(4)包括上料箱(401)、出料箱(402)、上料柱(403)和上料气缸(404)；

所述上料箱(401)和上料柱(403)分别固定至工作台(1)两侧，所述上料气缸(404)设置于上料箱(401)远离上料柱(403)的一侧、且其伸缩端固定有推板(14)，所述上料箱(401)设有供推板(14)穿过的推槽(15)，所述推槽(15)贯穿上料箱(401)；

所出料箱(402)一端与上料箱(401)固定、且另一端与上料柱(403)固定，所述出料箱(402)内设有L型出料槽(16)，所述L型出料槽(16)包括上槽道(1601)和下槽道(1602)，所述上槽道(1601)贯穿至推槽(15)、且下槽道(1602)贯穿出料箱(402)靠近工作台(1)的一侧。

3.根据权利要求2所述的一种全自动晶圆胶膜环切装置，其特征在于：所述出料箱(402)侧壁设有开合槽(17)，所述开合槽(17)贯穿至下槽道(1602)；所述出料箱(402)侧壁设有开合气缸(18)，所述开合气缸(18)伸缩端伸至下槽道(1602)并固定有卸料板(19)。

4.根据权利要求3所述的一种全自动晶圆胶膜环切装置，其特征在于：所述出料箱(402)远离工作台(1)的一侧设有贯穿至下槽道(1602)的吸风槽(20)，所述吸风槽(20)内设有吸风机(21)，所述吸风机(21)包括吸风孔(2101)和出风孔(2102)，所述吸风孔(2101)朝向下槽道(1602)、且出风孔(2102)朝向出料箱(402)外侧。

5.根据权利要求1所述的一种全自动晶圆胶膜环切装置，其特征在于：所述环切装置(5)包括龙门架(501)、升降气缸(502)、电机板(503)、环切电机(504)、置刀架(505)和切膜刀(506)；

所述龙门架(501)包括竖杆(5011)和横杆(5012)，两根竖杆(5012)分别固定至工作台(1)两侧，所述横杆(5011)设有上下贯穿的气缸槽(22)，所述横杆(5011)远离工作台(1)的一侧设有升降气缸(502)，所述升降气缸(502)伸缩端贯穿气缸槽(22)并与电机板(503)固定；

所述环切电机(504)与电机板(503)固定、且其旋转端与置刀架(505)固定，所述切膜刀(506)固定至置刀架(505)。

6.根据权利要求5所述的一种全自动晶圆胶膜环切装置，其特征在于：所述切膜刀(506)数量为三个，所述切膜刀(506)等距圆周设置。