[发明专利]工业用机器人的手和工业用机器人

权利要求书

1.一种工业用机器人的手，其具备：

装载部，所述装载部装载晶圆；以及

筒状的按压部件，所述按压部件能够按压装载于所述装载部的晶圆的端面，

所述按压部件的外周面为直径从装载于所述装载部的晶圆的背面侧朝向正面侧变大的锥面。

2.根据权利要求1所述的工业用机器人的手，其中，

具备端面抵接部件，所述端面抵接部件设置于所述装载部，且具有供所述晶圆的端面抵接的第一抵接面及供所述晶圆的背面抵接的第二抵接面，

所述第一抵接面为朝向装载于所述装载部的晶圆的径向内侧倾斜的倾斜面。

3.根据权利要求1或2所述的工业用机器人的手，其中，具备：

转动部，所述转动部支承所述装载部，且构成为绕沿第一方向延伸的轴旋转自如；

按压部，所述按压部被所述转动部支承为向所述第一方向移动自如，且包括能够按压装载于所述装载部的晶圆的端面的所述按压部件；以及

轴部件，所述轴部件与所述按压部固定连接，且构成为沿所述第一方向移动自如，

所述轴部件能够与所述转动部的旋转连动而旋转，

所述转动部的旋转轴和所述轴部件的轴中心一致。

4.根据权利要求3所述的工业用机器人的手，其中，

装载于所述装载部的晶圆的厚度方向的中心位置和所述轴部件的轴中心一致。

5.一种工业用机器人，具备：

权利要求1～4中任一项所述的工业用机器人的手；

臂，所述臂支承所述手；以及

臂支承部，所述臂支承部支承所述臂。