[发明专利]工业用机器人的手和工业用机器人

说明书

本发明提供一种能够可靠地保持晶圆而防止掉落的工业用机器人的手和具备该工业用机器人的手的工业用机器人。手(14)具备装载晶圆(2)的晶圆装载部(14a)和能够按压装载于晶圆装载部(14a)的晶圆(2)的端面的辊(145a)，辊(145a)的外周面(145a1)为直径从装载于晶圆装载部(14a)的晶圆(2)的背面侧朝向正面侧变大的锥面。

技术领域

本发明涉及一种工业用机器人的手和具备该工业用机器人的手的工业用机器人。

背景技术

目前，已知一种搬运半导体晶圆等搬运对象物的工业用机器人。例如在专利文献1中记载了一种水平多关节机器人，其具备装载搬运对象物的手、所述手以能够转动的方式连接至前端侧的臂、以能够转动的方式连接所述臂的基端侧的臂支承部、将所述臂支承部保持为能够升降的保持部、使所述手相对于所述臂转动的手驱动机构、驱动所述臂的臂驱动机构、以及使所述臂支承部相对于所述保持部升降的臂升降机构。

另外，在专利文献2中记载了一种工业用机器人，其具备装载搬运对象物的四个手、四个所述手以能够转动的方式连接至前端侧的臂、以及以能够转动的方式连接所述臂的基端侧的主体部。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2017－119325号公报

专利文献2：日本特开2017－119326号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

作为在工业用机器人中保持半导体晶圆的方法，已知如专利文献1、2所述机械地抓握晶圆的端面(外周面)的方法。目前，按压晶圆的端面的按压部件的外周面以与晶圆的端面平行的方式构成。在该结构中，根据晶圆的状态，在按压晶圆的端面时，晶圆的端面容易沿着上述外周面浮起。如果发生这样的浮起，则可能造成晶圆的掉落。专利文献1和专利文献2对于防止晶圆掉落的技术问题并未考虑。

本发明的目的在于，提供一种能够可靠地保持晶圆以防止掉落的工业用机器人的手和具备该工业用机器人的手的工业用机器人。

解决技术问题所采用的技术方案

本发明的一方式的工业用机器人的手具备：装载部，其装载晶圆；以及筒状的按压部件，其能够按压装载于上述装载部的晶圆的端面，上述按压部件的外周面为直径从装载于上述装载部的晶圆的背面侧朝向正面侧变大的锥面。

本发明的一方式的工业用机器人具备：上述手；臂，其支承上述手；以及臂支承部，其支承上述臂。

发明效果

根据本发明，可以提供一种能够可靠地保持晶圆以防止掉落的工业用机器人的手和具备该工业用机器人的手的工业用机器人。

附图说明

图1是用于从正面侧对本发明实施方式的制造系统的概略结构进行说明的图。

图2是用于从上侧对图1所示的制造系统的概略结构进行说明的图。

图3是图1所示的水平多关节机器人的侧视图。

图4是图3所示的水平多关节机器人的、臂支承部上升的状态的侧视图。

图5是图3所示的水平多关节机器人的俯视图。

图6是用于对图3所示的保持部的内部结构进行说明的概略图。

图7是用于对图3所示的保持部的内部结构进行说明的剖视图。

图8是图5所示的手的支承部附近的放大图。

图9是图8的B－B线的剖视向视图。

图10是图9的C－C线的剖视向视图。