[发明专利]激光器结构元件和用于制造激光器结构元件的方法

权利要求书

1.一种激光器结构元件，

具有空腔衬底(10)，所述空腔衬底在第一侧上具有空腔(15)和至少一个印制导线(40)，

具有盖件衬底(20)，所述盖件衬底在内侧上借助连接器件与所述空腔衬底在所述空腔衬底的第一侧上连接并且封闭所述空腔，

具有激光器(50)，所述激光器布置在所述空腔中，其中，所述激光器与所述印制导线导电地连接并且紧固在所述印制导线上。

2.根据权利要求1所述的激光器结构元件，其特征在于，所述盖件衬底(20)布置在所述激光器(50)的射束路径(55)中并且设置用于传输来自于所述激光器的光辐射。

3.根据权利要求1或2所述的激光器结构元件，其特征在于，所述激光器(50)借助布线衬底(60)与所述印制导线(40)导电地连接并且紧固在所述印制导线上。

4.根据上述权利要求1至3中任一项所述的激光器结构元件，其特征在于，所述空腔衬底(10)在所述第一侧上具有绝缘层(30)，所述绝缘层至少布置在所述印制导线(40)与所述空腔衬底之间。

5.根据上述权利要求1至4中任一项所述的激光器结构元件，其特征在于，所述空腔(15)的壁在所述空腔衬底(10)的第一侧上如此设置为所述激光器(50)的射束路径(55)中的镜面(70)，使得来自于所述激光器的光辐射能够反射至所述盖件衬底(20)。

6.根据上述权利要求1至5中任一项所述的激光器结构元件，其特征在于，所述盖件衬底(20)在所述内侧上具有涂层，所述涂层构型为用于来自于所述激光器的光辐射的光阑(80)。

7.根据上述权利要求1、3或4中任一项所述的激光器结构元件，其特征在于，所述空腔(15)的壁在所述空腔衬底(10)的第一侧上如此设置为所述激光器的射束路径中的窗口，使得来自于所述激光器(50)的光辐射能够向外穿过所述空腔衬底。

8.根据上述权利要求1至7中任一项所述的激光器结构元件，其特征在于，所述盖件衬底(20)的至少一个表面在所述激光器(50)的射束路径中具有抗反射涂层(90)。

9.根据上述权利要求1至8中任一项所述的激光器结构元件，其特征在于，在所述空腔衬底(10)的第一侧上在所述盖件衬底(20)的旁边构造有至少一个外部的电接通部，所述外部的电接通部与所述印制导线(40)电接通。

10.根据权利要求9所述的激光器结构元件，其特征在于，相比于所述盖件衬底，所述外部的电接通部在所述空腔衬底的第一侧的上突出得更高，并且所述外部的电接通部尤其具有焊球(120)或者引线键合。

11.根据上述权利要求1至8中任一项所述的激光器结构元件，其特征在于，所述盖件衬底(20)具有从所述内侧到相对置的外侧的导通孔(110)，其中，所述导通孔在所述内侧上与所述印制导线(40)电接通，并且在所述外侧上具有外部的电接通部、尤其是焊球(120)或者引线键合。

12.一种用于制造激光器结构元件的方法，所述方法具有步骤：

(A)提供空腔衬底和盖件衬底；

(B)在第一侧上在空腔衬底中开设空腔；

(C)在所述空腔衬底的第一侧上的表面上构造绝缘层；

(D)在所述绝缘层上构造印制导线、尤其是由铜、镍或者金制成的印制导线；

(E)例如通过焊接和电接通在所述印制导线上的方式将所述激光器装配在所述空腔中；

(F)尤其是借助SLID键合或者iRMS键合将所述盖件衬底键合到所述空腔衬底上。

13.根据权利要求12所述的用于制造激光器结构元件的方法，其特征在于，在步骤(B)之后和在步骤(E)之前在所述空腔的侧壁上构造镜面。

14.根据权利要求12所述的用于制造激光器结构元件的方法，其特征在于，在步骤(F)之后在步骤(G)中将焊球或者引线键合施加到外部的接通部上，所述外部的接通部与所述印制导线导电地连接。