[发明专利]激光器结构元件和用于制造激光器结构元件的方法

说明书

本发明涉及一种激光器结构元件，所述激光器结构元件具有空腔衬底(10)、具有盖件衬底(20)并且具有激光器(50)，所述空腔衬底在第一侧上具有空腔(15)和至少一个印制导线(40)，所述盖件衬底在内侧上借助连接器件与所述空腔衬底在所述空腔衬底的第一侧上连接并且封闭所述空腔，所述激光器布置在所述空腔中，其中，所述激光器与所述印制导线导电地连接并且紧固在所述印制导线上。本发明还涉及一种用于制造激光器结构元件的方法。

技术领域

本发明涉及一种激光器结构元件和一种用于制造激光器结构元件的方法

背景技术

对于增强现现实眼镜等新型投影应用需要光源，所述光源具有特别小的结构尺寸并且能够实现非常紧凑的、成本有利的和灵活的构造方案。例如，这能够是激光二极管。但是，必须保护这种激光器结构元件免受环境影响、尤其是氧气影响。通常，激光器构造在TO金属壳体中，然而，TO金属壳体非常大。借助半导体工业中的经微机械加工的晶圆实现的气密地(hermetisch)密封的封装能够实现进一步的小型化。

由US2015003482A、DE 10 2015 108 117 A1、DE 10 2015 208 704 A1已知具有微机械封装的激光器结构元件。

发明内容

本发明的任务在于提供一种具有简单的、密封的封装的稳健的激光器结构元件。

本发明的优点

核心

本发明涉及一种激光器结构元件，所述激光器结构元件具有空腔衬底(10)、具有盖件衬底(20)并且具有激光器(50)，所述空腔衬底在第一侧上具有空腔(15)和至少一个印制导线(Leiterbahn)(40)，所述盖件衬底在内侧上借助连接器件与所述空腔衬底在所述空腔衬底的第一侧上连接并且封闭所述空腔，所述激光器布置在所述空腔中，其中，所述激光器与所述印制导线导电地连接并且紧固在所述印制导线上。

有利地，该布置将激光器的紧固与激光器的电接通结合。有利地，该布置不需要键合线并且因此能够实现特别稳健且紧凑的结构形式。有利地，空腔衬底和盖件衬底能够直接地、即无间隔保持件(Abstandshalter)地键合在一起。由此，只需要一个密封的键合连接。

激光器结构元件的一种有利的构型方案包括气密的封装、印制导线、激光器和透明的盖件衬底，该气密的封装由空腔衬底组成，该空腔衬底具有构造在其中的空腔，其中，侧壁中的至少一个侧壁倾斜地构造，所述印制导线从衬底的外表面通过倾斜的侧壁引导到空腔的底部上，所述激光器与所述印制导线电连接，所述透明的盖件衬底与空腔衬底的外表面通过键合连接气密地密封地连接。

盖件衬底能够在腔区域之外具有导通孔(Durchkontakt)，所述导通孔与通到腔(Kaverne)中的印制导线导电地连接。

替代地，空腔衬底能够在盖件衬底之外的无重叠的区域中具有引线键合焊盘。

盖件衬底能够具有光阑(optische Apertur)或者压印透镜等光学元件。

激光器能够由陶瓷衬底上的激光器芯片组成，其中，陶瓷衬底(例如由氮化铝制成)例如通过导通孔和焊接连接与腔中的印制导线连接。

激光器芯片能够涉及边缘发射激光器或者垂直发射的激光器。

替代单个激光器地，在空腔中能够放置有多个激光器，所述多个激光器还具有不同的发射波长。

腔壁中的一个腔壁能够具有优选倾斜的、用于使光偏转的镜面，或者尤其在与边缘发射激光器芯片结合的情况下能够具有透明的逸出窗口。