[发明专利]差压传感器及其使用方法

权利要求书

1.一种压力传感器，包括：

衬底，所述衬底部分地由在第一衬底表面和第二衬底表面之间延伸的衬底厚度限定；

第一压力感测组件，所述第一压力感测组件附接到所述第一衬底表面并且被配置为检测与第一体积的流体相关联的第一压力，其中所述第一压力感测组件附接到其上的所述第一衬底表面的至少一部分与所述第一体积的流体流体隔离；和

第二压力感测组件，所述第二压力感测组件附接到所述第二衬底表面并且被配置为检测与第二体积的流体相关联的第二压力，其中所述第二压力感测组件附接到其上的所述第二衬底表面的至少一部分与所述第二体积的流体流体隔离。

2.根据权利要求1所述的压力传感器，其中所述第一衬底表面和所述第二衬底表面限定所述衬底厚度的相对端。

3.根据权利要求1所述的压力传感器，其中所述第一衬底表面和所述第二衬底表面限定共面表面，使得所述第一压力感测组件和所述第二压力感测组件在至少基本上类似的平面内侧向间隔开。

4.根据权利要求1所述的压力传感器，还包括与所述第一压力感测组件和所述第二压力感测组件电子通信的控制器，其中所述控制器还被配置为接收来自所述第一压力感测组件的第一输出信号和来自所述第二压力感测组件的第二输出信号。

5.根据权利要求4所述的压力传感器，其中所述控制器还被配置为至少部分地基于所述第一输出信号和所述第二输出信号来确定与所述第一压力感测组件和所述第二压力感测组件相关联的压差。

6.根据权利要求1所述的压力传感器，其中所述第一压力感测组件包括第一压力感测元件，所述第一压力感测元件与所述第一衬底表面电子通信并且被配置为检测所述第一压力；并且其中所述第二压力感测组件包括第二压力感测元件，所述第二压力感测元件与所述第二衬底表面电子通信并且被配置为检测所述第二压力。

7.根据权利要求1所述的压力传感器，还包括第一传感器外壳和第二传感器外壳；其中所述第一传感器外壳和所述第一压力感测组件附接到其上的所述第一衬底表面的所述部分共同限定第一内部压力室，所述第一内部压力室被构造成容纳所述第一体积的流体；并且其中所述第二传感器外壳和所述第二压力感测组件附接到其上的所述第二衬底表面的所述部分共同限定第二内部压力室，所述第二内部压力室被构造成容纳所述第二体积的流体。

8.根据权利要求1所述的压力传感器，其中所述第一压力感测组件包括第一传力构件，所述第一传力构件设置在所述第一传感器外壳内并且被构造成接收所述第一压力；并且其中所述第二压力感测组件包括第二传力构件，所述第二传力构件设置在所述第二传感器外壳内并且被构造成接收所述第二压力。

9.根据权利要求8所述的压力传感器，其中所述第一压力感测组件还包括设置在所述第一传感器外壳内的第一压力感测元件，其中所述第一传力构件被构造成将所述第一压力的至少一部分传递到所述第一压力感测元件，并且其中所述第一传力构件被构造成至少基本上围绕所述第一压力感测元件，以便将所述第一压力感测元件与所述第一体积的流体流体隔离。

10.一种确定压差的方法，所述方法包括：

提供压力传感器，所述压力传感器包括：

衬底，所述衬底部分地由在第一衬底表面和第二衬底表面之间延伸的衬底厚度限定；

第一压力感测组件，所述第一压力感测组件附接到所述第一衬底表面并且被配置为检测与第一体积的流体相关联的第一压力，其中所述第一压力感测组件附接到其上的所述第一衬底表面的至少一部分与所述第一体积的流体流体隔离；和

第二压力感测组件，所述第二压力感测组件附接到所述第二衬底表面并且被配置为检测与第二体积的流体相关联的第二压力，其中所述第二压力感测组件附接到其上的所述第二衬底表面的至少一部分与所述第二体积的流体流体隔离；

接收来自所述第一压力感测组件的第一输出信号和来自所述第二压力感测组件的第二输出信号；以及

至少部分地基于所述第一输出信号和所述第二输出信号来确定与所述第一压力感测组件和所述第二压力感测组件相关联的压差。