[发明专利]差压传感器及其使用方法

说明书

本发明各种实施方案涉及压力传感器及其使用方法。压力传感器可包括：衬底，该衬底具有在第一衬底表面和第二衬底表面之间延伸的衬底厚度，其中该第一衬底表面和该第二衬底表面限定该衬底厚度的相对端；第一压力感测组件，该第一压力感测组件附接到该第一衬底表面并且被配置为检测与第一流体体积相关联的第一压力，其中该第一衬底表面的与该第一压力感测组件相邻的一部分与该第一体积的流体流体隔离；和第二压力感测组件，该第二压力感测组件附接到该第二衬底表面并且被配置为检测与第二体积的流体相关联的第二压力，其中该第二衬底表面的与该第二压力感测组件相邻的一部分与该第二流体体积流体隔离。

技术领域

本文所述的各种实施方案整体涉及压力传感器。具体地讲，各种实施 方案涉及被配置用于测量两个环境之间的压差的压力传感器。

背景技术

工业、商业和医疗应用可使用差压传感器以流体方式确定(用于比 较)两个不同环境中的每个环境内的一种或多种流体条件。具体地讲，压 差传感器可用于表征存在于两个不同环境之间的流体流动条件和/或压降。 通过所施加的努力、智慧和创新，申请人已通过开发体现在本公开中的解 决方案解决了与差压传感器相关的问题，下文将详细描述这些解决方案。

发明内容

各种实施方案涉及差压传感器及其使用方法。在各种实施方案中，压 力传感器可包括：压力传感器包括：衬底，该衬底部分地由在第一衬底表 面和第二衬底表面之间延伸的衬底厚度限定，其中该第一衬底表面和该第 二衬底表面限定该衬底厚度的相对端；第一压力感测组件，该第一压力感 测组件附接到该第一衬底表面并且被配置为检测与第一体积的流体相关联 的第一压力，其中该第一压力感测组件附接到其上的该第一衬底表面的至 少一部分与该第一体积的流体流体隔离；和第二压力感测组件，该第二压 力感测组件附接到该第二衬底表面并且被配置为检测与第二体积的流体相 关联的第二压力，其中该第二压力感测组件附接到其上的该第二衬底表面 的至少一部分与该第二体积的流体流体隔离。

在各种实施方案中，压力传感器还可包括与该第一压力感测组件和该 第二压力感测组件电子通信的控制器，该控制器还可被配置为接收来自该 第一压力感测组件的第一输出信号和来自该第二压力感测组件的第二输出 信号。在各种实施方案中，该控制器还被配置为至少部分地基于该第一输 出信号和该第二输出信号来确定与该第一压力感测组件和该第二压力感测 组件相关联的压差。在某些实施方案中，该控制器可与该衬底电子通信， 并且其中该控制器设置在第一传感器外壳和第二传感器外壳中的一者内并 相对于该衬底固定。

在各种实施方案中，该第一压力感测组件可包括第一压力感测元件， 该第一压力感测元件被定位成至少基本上与该第一衬底表面相邻并且被配 置为检测该第一压力；并且该第二压力感测组件可包括第二压力感测元 件，该第二压力感测元件被定位成至少基本上与该第二衬底表面相邻并且 被配置为检测该第二压力。在某些实施方案中，该第一压力感测元件可与 控制器电子通信，并且该第一压力感测元件可被配置为响应于检测到该第 一压力而将第一输出信号传输到该控制器；并且该第二压力感测元件可与 该控制器电子通信，并且该第二压力感测元件可被配置为响应于检测到该 第二压力而将第二输出信号传输到该控制器。在各种实施方案中，该衬底 可包括印刷控制板(PCB)。在某些实施方案中，该第一压力感测组件可 包括第一压力感测元件，该第一压力感测元件与该第一衬底表面电子通信 并且被配置为检测该第一压力；并且其中该第二压力感测组件可包括第二 压力感测元件，该第二压力感测元件与该第二衬底表面电子通信并且被配 置为检测该第二压力。此外，在某些实施方案中，该第一压力感测元件可 被配置为在第一接收表面处接收该第一压力，并且该第二压力感测元件可 被配置为在第二接收表面处接收该第二压力；其中该第一接收表面被布置 成面向与该第二接收表面基本上相反的方向。