[发明专利]分割装置和分割方法

权利要求书

1.一种分割装置，其对将形成有分割起点的被加工物粘贴于扩展片并且将该扩展片安装于框架而得的被加工物单元的该扩展片进行扩展，从而将被加工物沿着该分割起点进行分割，其中，

该分割装置具有：

扩展单元，其在被加工物朝下的状态下利用保持机构对被加工物单元的该框架进行保持，对该扩展片进行扩展而沿着该分割起点将被加工物分割；以及

屑接收机构，其具有屑接收面和清洗液提供部，该屑接收面与包含该保持机构所保持的该框架在内的被加工物单元的被加工物面对，接收因被加工物的分割而产生的分割屑，该清洗液提供部用于朝向该屑接收面提供清洗液。

2.根据权利要求1所述的分割装置，其特征在于，

在该屑接收面上形成有排出口，在该屑接收面上带有朝向该排出口下降的朝向的倾斜。

3.一种分割方法，对将形成有分割起点的被加工物粘贴于扩展片并且将该扩展片安装于框架而得的被加工物单元的该扩展片进行扩展，从而将被加工物沿着该分割起点进行分割，其中，

该分割方法具有如下的步骤：

分割步骤，在被加工物朝下的状态下利用保持机构对被加工物单元的该框架进行保持，并且对该扩展片进行扩展而沿着该分割起点将被加工物分割；以及

清洗液提供步骤，利用屑接收机构接收通过该分割步骤对被加工物进行分割而产生的分割屑，并且向该屑接收机构的屑接收面提供清洗液。

4.根据权利要求3所述的分割方法，其特征在于，

在该屑接收面上形成有排出口，在该屑接收面上带有朝向该排出口下降的朝向的倾斜。