[发明专利]一种含硅烷尾气的安全排放装置

权利要求书

1.一种含硅烷尾气的安全排放装置，包括排放主管（1），排放主管（1）下端连接有排放支管（2），排放支管（2）下端对应设置有吸收槽（3），吸收槽（3）内注有吸收液，其特征在于：所述排放支管（2）采用树状结构多级分布设置，排放支管（2）最下端伸入到吸收槽（3）内并置于吸收液液面下侧，排放支管（2）最下端表面设有若干个排放孔（4）。

2.如权利要求1所述的一种含硅烷尾气的安全排放装置，其特征在于：排放主管（1）上设有流量控制球阀（5），排放支管（2）上设有开关阀（6）。

3.如权利要求1所述的一种含硅烷尾气的安全排放装置，其特征在于：排放主管（1）与排放支管（2）连接处设有过滤器（7）。

4.如权利要求1所述的一种含硅烷尾气的安全排放装置，其特征在于：所述吸收液采用氨水吸收液或稀硝酸吸收液。

5.如权利要求1所述的一种含硅烷尾气的安全排放装置，其特征在于：吸收槽（3）内中间设有搅拌杆（8），搅拌杆（8）上端插入到排放支管（2）内。

6.如权利要求1所述的一种含硅烷尾气的安全排放装置，其特征在于：吸收槽（3）内底部设有滤网（9），吸收槽（3）侧边连接有排液管（10）。