[发明专利]真空互联系统及其自动传输方法

权利要求书

1.一种真空互联系统，其特征在于，所述系统包括：

样品传递室；

MOCVD托盘通道，与MOCVD系统及所述样品传递室相连，用于将MOCVD系统的承载有样品的MOCVD托盘输送给样品传递室；

MBE托盘通道，与MBE系统及所述样品传递室相连，用于将MBE托盘输送给样品传递室；

自动输送通道，与所述样品传递室相连，用于将样品传递室内MOCVD托盘上的样品转移到MBE托盘上，并将承载有样品的MBE托盘输送给所述MBE托盘通道；

所述MBE托盘通道还用于将承载有样品的MBE托盘输送给MBE系统。

2.根据权利要求1所述的一种真空互联系统，其特征在于：所述样品传递室、MOCVD托盘通道、MBE托盘通道和自动输送通道均被隔离为相互独立的且密闭的空间，且所述MOCVD托盘通道与MOCVD系统之间、所述MOCVD托盘通道与样品传递室之间、所述MBE托盘通道与MBE系统之间、所述MBE托盘通道与样品传递室之间且所述自动输送通道与样品传递室之间通过隔离阀相隔离或相连通。

3.根据权利要求2所述的一种真空互联系统，其特征在于：所述样品传递室、MOCVD托盘通道、MBE托盘通道和自动输送通道在工作时处于真空状态。

4.根据权利要求1所述的一种真空互联系统，其特征在于：所述MOCVD托盘通道和MBE托盘通道均包括传送系统。

5.根据权利要求1所述的一种真空互联系统，其特征在于：所述样品传递室还包括分别用于承载MOCVD托盘和MBE托盘的加热支座和MBE支座。

6.一种基于权利要求1～5任意一项所述的真空互联系统的自动传输方法，其特征在于，所述方法包括：

S100，将自MOCVD系统输送过来的承载有样品的MOCVD托盘输送给样品传递室；

S200，将MBE托盘输送给样品传递室；

S300，将样品传递室内MOCVD托盘上的样品转移到MBE托盘上，并将承载有样品的MBE托盘输送给MBE托盘通道；

S400，将承载有样品的MBE托盘输送给MBE系统。

7.根据权利要求6所述的一种真空互联系统的自动传输方法，其特征在于，所述S100包括：

S101，承载有样品的MOCVD托盘离开MOCVD系统后，将MOCVD系统与MOCVD托盘通道之间的第一隔离阀打开，待MOCVD托盘进入MOCVD托盘通道后，关闭所述第一隔离阀；

S102，打开MOCVD托盘通道与样品传递室之间的第二隔离阀，通过MOCVD托盘通道内的传送系统将所述MOCVD托盘传输给样品传递室的加热支座上，关闭所述第二隔离阀。

8.根据权利要求6所述的一种真空互联系统的自动传输方法，其特征在于，所述S200包括：

S201，MBE托盘离开MBE系统后，将MBE系统与MBE托盘通道之间的第三隔离阀打开，待MBE托盘进入MBE托盘通道后，关闭所述第三隔离阀；

S202，分别打开MBE托盘通道与样品传递室之间的第四隔离阀以及样品传递室与自动输送通道之间的第五隔离阀，通过MBE托盘通道内的传送系统将所述MBE托盘输送给样品传递室，再通过自动输送通道将所述MBE托盘放置到样品传递室的MBE支座上，关闭所述第四隔离阀。

9.根据权利要求8所述的一种真空互联系统的自动传输方法，其特征在于，所述S300包括：

S301，自动输送通道将MOCVD托盘上的样品放入到MBE托盘的指定位置；

S302，打开所述第四隔离阀，将承载有样品的MBE托盘送人MBE托盘通道中，关闭所述第四隔离阀和第五隔离阀。

10.根据权利要求8所述的一种真空互联系统的自动传输方法，其特征在于，所述S400包括：

S401，打开MBE托盘通道与MBE系统之间的第三隔离阀，通过MBE托盘通道内的传送系统将承载有样品的MBE托盘送入MBE系统；

S402，关闭所述第三隔离阀。