[发明专利]真空互联系统及其自动传输方法

说明书

本发明公开了一种真空互联系统及其自动传输方法，真空互联系统包括样品传递室、MOCVD托盘通道、MBE托盘通道及自动输送通道，MOCVD托盘通道与样品传递室相连，用于将MOCVD系统的承载有样品的MOCVD托盘输送给样品传递室；MBE托盘通道与样品传递室相连，用于将MBE托盘输送给样品传递室；自动输送通道与样品传递室相连，用于将样品传递室内MOCVD托盘上的样品转移到MBE托盘上，并将承载有样品的MBE托盘输送给MBE托盘通道；MBE托盘通道还用于将承载有样品的MBE托盘输送给MBE系统。本发明实现了MOCVD系统和MBE系统的直接互联，且实现样品在高温、真空环境条件下的自动化传输。

技术领域

本发明属于晶体生长技术领域，具体涉及一种真空互联系统及其自动传输方法。

背景技术

MOCVD(金属有机化合物化学气相沉淀)是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。MBE(分子束外延)是一种在晶体基片上生长高质量的晶体薄膜的新技术。在超高真空条件下，由装有各种所需组分的炉子加热而产生的蒸气，经小孔准直后形成的分子束或原子束，直接喷射到适当温度的单晶基片上，同时控制分子束对衬底扫描，就可使分子或原子按晶体排列一层层地长在基片上形成薄膜。

现有MOCVD系统和MBE系统为各自独立的系统装置，两个系统之间的样品通过手动传输，且传输过程中需降温升温并暴露大气，具有时间长、效率低、表面易污染导致材料质量下降等缺点，不能充分发挥两个系统的优势。

因此，如何提供一种将MOCVD系统和MBE系统互连的互连系统，以解决上述存在的缺点，是一个急需解决的问题。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种真空互联系统，从而克服现有技术的不足。

本发明的另一目的在于提供一种真空互联系统的自动传输方法。

为实现前述发明目的，本发明采用的技术方案包括：一种真空互联系统，包括：

样品传递室；

MOCVD托盘通道，与MOCVD系统及所述样品传递室相连，用于将MOCVD系统的承载有样品的MOCVD托盘输送给样品传递室；

MBE托盘通道，与MBE系统及所述样品传递室相连，用于将MBE托盘输送给样品传递室；

自动输送通道，与所述样品传递室相连，用于将样品传递室内MOCVD托盘上的样品转移到MBE托盘上，并将承载有样品的MBE托盘输送给所述MBE托盘通道；

所述MBE托盘通道还用于将承载有样品的MBE托盘输送给MBE系统。

在一优选实施例中，所述样品传递室、MOCVD托盘通道、MBE托盘通道和自动输送通道均被隔离为相互独立的且密闭的空间，且所述MOCVD托盘通道与MOCVD系统之间、所述MOCVD托盘通道与样品传递室之间、所述MBE托盘通道与MBE系统之间、所述MBE托盘通道与样品传递室之间且所述自动输送通道与样品传递室之间通过隔离阀相隔离或相连通。

在一优选实施例中，所述样品传递室、MOCVD托盘通道、MBE托盘通道和自动输送通道在工作时处于真空状态。

在一优选实施例中，所述MOCVD托盘通道和MBE托盘通道均包括传送系统。

在一优选实施例中，所述样品传递室还包括分别用于承载MOCVD托盘和MBE托盘的加热支座和MBE支座。

在一优选实施例中，所述自动输送通道包括机械臂。

本发明实施例还提供了一种真空互联系统的自动传输方法，包括：

S100，将自MOCVD系统输送过来的承载有样品的MOCVD托盘输送给样品传递室；

S200，将MBE托盘输送给样品传递室；