[发明专利]一种LED晶粒的抽检方法和系统在审

专利信息
申请号: 202111198696.X 申请日: 2021-10-14
公开(公告)号: CN114141643A 公开(公告)日: 2022-03-04
发明(设计)人: 黎银英;邝浩彬;陈桂飞 申请(专利权)人: 佛山市国星半导体技术有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66;H01L21/67
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 胡枫;李素兰
地址: 528200 广东省佛山市南海区狮*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 led 晶粒 抽检 方法 系统
【权利要求书】:

1.一种LED晶粒的抽检方法,其特征在于,包括:

对LED晶圆进行测试,以获取LED晶粒的测试数据;

根据所述LED晶粒的测试数据,将LED晶粒分成若干个分类等级,并从所述分类等级中选出必抽等级,所述必抽等级对应的LED晶粒为必抽晶粒,所述LED晶粒来自至少一个晶圆;

按照分类等级将所述LED晶粒排列至不同的方片上,获得若干张成品方片;

从所述成品方片中选出待抽检方片,所述待抽检方片上的LED晶粒为第一抽检晶粒,所述第一抽检晶粒包括来自任一LED晶圆的必抽晶粒;

对所述待抽检检方片上的第一抽检晶粒进行测试,以判断所述第一抽检晶粒是否满足标准;

若所述待抽检方片上的第一抽检晶粒满足标准,则其余的成品方片不用进行检测并流转至下一工序;

若所述待抽检方片上的第一抽检晶粒不满足标准,则将所有的成品方片扣留。

2.如权利要求1所述的LED晶粒的抽检方法,其特征在于,根据抽检比例从所述待抽检方片中选出必抽方片,所述必抽方片的数量少于所述代抽检方片的数量,所述必抽方片上的LED晶粒为第二抽检晶粒,所述第二抽检晶粒包括来自任一LED晶圆的必抽晶粒;

对所述必抽方片上的第二抽检晶粒进行测试,以判断所述第二抽检晶粒是否满足标准;

若所述必抽方片上的第二抽检晶粒满足标准,则其余的成品方片不用进行检测并流转至下一工序;

若所述必抽方片上的第二抽检晶粒不满足标准,则将所有成品方片扣留。

3.如权利要求1或2所述的LED晶粒的抽检方法,其特征在于,所述LED晶圆中,LED晶粒数量最多的分类等级为必抽等级,所述LED晶圆至少含有一个必抽等级。

4.如权利要求2所述的LED晶粒的抽检方法,其特征在于,所述抽检比例是指所述第二抽检晶粒中来自任一LED晶圆的必抽晶粒数与该LED晶圆的必抽晶粒总数比;

所述第二抽检晶粒中来自任一LED晶圆的必抽晶粒数a,抽检比例为k,该LED晶圆的必抽晶粒总数为b,若a≥b*k,则选取该待抽检方片为必抽方片。

5.如权利要求1所述的LED晶粒的抽检方法,其特征在于,所述LED晶粒的测试数据包括电性数据、光学数据和外观数据。

6.如权利要求1所述的LED晶粒的抽检方法,其特征在于,从所述成品方片中选出待抽检方片的方法包括:

根据必抽等级和必抽晶粒来选取待抽检方片,若所述成品方片上的LED晶粒包括至少来自一个LED晶圆的必抽晶粒,则选取该成品方片为待抽检方片。

7.一种LED晶粒的抽检系统,其特征在于,包括:

测试模块,用于测试LED晶圆上的LED晶粒,以获得所述LED晶粒的测试数据;

处理模块,用于对所述测试数据进行分析,以将LED晶粒分成若干个分类等级,并从所述分类等级中选出必抽等级;

分选模块,用于对所述LED晶粒进行分选排列,所述LED晶粒按照分类等级排列至不同的方片上,以获得若干张成品方片;

抽选模块,用于从所述成品方片中选出待抽检方片,所述待抽检方片上的LED晶粒为第一抽检晶粒,所述第一抽检晶粒包括来自任一LED晶圆的必抽晶粒;

检测模块,用于对所述第一抽检晶粒进行检测,以判断所述第一抽检晶粒是否满足标准。

8.如权利要求7所述的LED晶粒的抽检系统,其特征在于,所述抽选模块还用于从所述待抽检方片中选出必抽方片,所述必抽方片的数量少于所述代抽检方片的数量,所述必抽方片上的LED晶粒为第二抽检晶粒,所述第二抽检晶粒包括来自任一LED晶圆的必抽晶粒。

9.如权利要求8所述的LED晶粒的抽检系统,其特征在于,所述检测模块还用于对所述第二抽检晶粒进行检测,以判断所述第二抽检晶粒是否满足标准。

10.如权利要求7所述的LED晶粒的抽检系统,其特征在于,所述LED晶圆中,LED晶粒数量最多的分类等级为必抽等级,所述LED晶圆至少含有一个必抽等级。

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