[发明专利]一种LED晶粒的抽检方法和系统在审
申请号: | 202111198696.X | 申请日: | 2021-10-14 |
公开(公告)号: | CN114141643A | 公开(公告)日: | 2022-03-04 |
发明(设计)人: | 黎银英;邝浩彬;陈桂飞 | 申请(专利权)人: | 佛山市国星半导体技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L21/67 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 胡枫;李素兰 |
地址: | 528200 广东省佛山市南海区狮*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 led 晶粒 抽检 方法 系统 | ||
1.一种LED晶粒的抽检方法,其特征在于,包括:
对LED晶圆进行测试,以获取LED晶粒的测试数据;
根据所述LED晶粒的测试数据,将LED晶粒分成若干个分类等级,并从所述分类等级中选出必抽等级,所述必抽等级对应的LED晶粒为必抽晶粒,所述LED晶粒来自至少一个晶圆;
按照分类等级将所述LED晶粒排列至不同的方片上,获得若干张成品方片;
从所述成品方片中选出待抽检方片,所述待抽检方片上的LED晶粒为第一抽检晶粒,所述第一抽检晶粒包括来自任一LED晶圆的必抽晶粒;
对所述待抽检检方片上的第一抽检晶粒进行测试,以判断所述第一抽检晶粒是否满足标准;
若所述待抽检方片上的第一抽检晶粒满足标准,则其余的成品方片不用进行检测并流转至下一工序;
若所述待抽检方片上的第一抽检晶粒不满足标准,则将所有的成品方片扣留。
2.如权利要求1所述的LED晶粒的抽检方法,其特征在于,根据抽检比例从所述待抽检方片中选出必抽方片,所述必抽方片的数量少于所述代抽检方片的数量,所述必抽方片上的LED晶粒为第二抽检晶粒,所述第二抽检晶粒包括来自任一LED晶圆的必抽晶粒;
对所述必抽方片上的第二抽检晶粒进行测试,以判断所述第二抽检晶粒是否满足标准;
若所述必抽方片上的第二抽检晶粒满足标准,则其余的成品方片不用进行检测并流转至下一工序;
若所述必抽方片上的第二抽检晶粒不满足标准,则将所有成品方片扣留。
3.如权利要求1或2所述的LED晶粒的抽检方法,其特征在于,所述LED晶圆中,LED晶粒数量最多的分类等级为必抽等级,所述LED晶圆至少含有一个必抽等级。
4.如权利要求2所述的LED晶粒的抽检方法,其特征在于,所述抽检比例是指所述第二抽检晶粒中来自任一LED晶圆的必抽晶粒数与该LED晶圆的必抽晶粒总数比;
所述第二抽检晶粒中来自任一LED晶圆的必抽晶粒数a,抽检比例为k,该LED晶圆的必抽晶粒总数为b,若a≥b*k,则选取该待抽检方片为必抽方片。
5.如权利要求1所述的LED晶粒的抽检方法,其特征在于,所述LED晶粒的测试数据包括电性数据、光学数据和外观数据。
6.如权利要求1所述的LED晶粒的抽检方法,其特征在于,从所述成品方片中选出待抽检方片的方法包括:
根据必抽等级和必抽晶粒来选取待抽检方片,若所述成品方片上的LED晶粒包括至少来自一个LED晶圆的必抽晶粒,则选取该成品方片为待抽检方片。
7.一种LED晶粒的抽检系统,其特征在于,包括:
测试模块,用于测试LED晶圆上的LED晶粒,以获得所述LED晶粒的测试数据;
处理模块,用于对所述测试数据进行分析,以将LED晶粒分成若干个分类等级,并从所述分类等级中选出必抽等级;
分选模块,用于对所述LED晶粒进行分选排列,所述LED晶粒按照分类等级排列至不同的方片上,以获得若干张成品方片;
抽选模块,用于从所述成品方片中选出待抽检方片,所述待抽检方片上的LED晶粒为第一抽检晶粒,所述第一抽检晶粒包括来自任一LED晶圆的必抽晶粒;
检测模块,用于对所述第一抽检晶粒进行检测,以判断所述第一抽检晶粒是否满足标准。
8.如权利要求7所述的LED晶粒的抽检系统,其特征在于,所述抽选模块还用于从所述待抽检方片中选出必抽方片,所述必抽方片的数量少于所述代抽检方片的数量,所述必抽方片上的LED晶粒为第二抽检晶粒,所述第二抽检晶粒包括来自任一LED晶圆的必抽晶粒。
9.如权利要求8所述的LED晶粒的抽检系统,其特征在于,所述检测模块还用于对所述第二抽检晶粒进行检测,以判断所述第二抽检晶粒是否满足标准。
10.如权利要求7所述的LED晶粒的抽检系统,其特征在于,所述LED晶圆中,LED晶粒数量最多的分类等级为必抽等级,所述LED晶圆至少含有一个必抽等级。
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