[发明专利]一种LED晶粒的抽检方法和系统在审
申请号: | 202111198696.X | 申请日: | 2021-10-14 |
公开(公告)号: | CN114141643A | 公开(公告)日: | 2022-03-04 |
发明(设计)人: | 黎银英;邝浩彬;陈桂飞 | 申请(专利权)人: | 佛山市国星半导体技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L21/67 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 胡枫;李素兰 |
地址: | 528200 广东省佛山市南海区狮*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 led 晶粒 抽检 方法 系统 | ||
本发明公开了一种LED晶粒的抽检方法及系统,所述抽检方法包括:对LED晶圆进行测试,以获取LED晶粒的测试数据;根据所述LED晶粒的测试数据,将LED晶粒分成若干个分类等级,并从所述分类等级中选出必抽等级,所述必抽等级对应的LED晶粒为必抽晶粒,所述LED晶粒来自至少一个晶圆;按照分类等级将所述LED晶粒排列至不同的方片上,获得若干张成品方片;从所述成品方片中选出待抽检方片,所述待抽检方片上的LED晶粒为第一抽检晶粒,所述第一抽检晶粒包括来自任一LED晶圆的必抽晶粒;对所述待抽检检方片上的第一抽检晶粒进行测试,以判断所述第一抽检晶粒是否满足标准。本发明抽检方法的抽检效率高,漏检率低。
技术领域
本发明涉及发光二极管技术领域,尤其涉及一种LED晶粒的抽检方法和系统。
背景技术
LED晶粒在完成光电参数分类后,需要按等级进行分选,其中,等级相同的LED晶粒置于同一张成品方片上,参见图1,图1中有6张成品方片,包括成品方片1、成品方片2、成品方片3、成品方片4、成品方片5和成品方片6,其中,每张成品方片上排列有多颗等级相同的LED晶粒,图1中的6张成品方片的LED晶粒的等级相同,成品方片上的数字代表LED晶粒来自哪一个晶圆,其中,数字相同的LED晶粒代表来自同一个晶圆,例如,1代表来自晶圆1,2代表来自晶圆2等,有的成品方片上的LED晶粒可能全部来自同一个晶圆,有的成品方片上的LED晶粒可能来自不同的晶圆。
LED晶粒在完成光电参数分类分选后,还需采用点测设备对LED晶粒进行抽测,以确保各晶粒的电性和光学特性与分类挑选的要求一致,同时保证LED产品出货的品质。
现有的一种抽测检验方法是:对每张成品方片进行抽测,例如图1中的6张成品方片都进行抽测,这个方法需要耗费大量的人力和机台,制造成本高。
现有的另一种抽测检验方法是:按比例选取成品方片进行抽测,例如图1中的6张成品方片按比例抽取其中1张或2张成品方片进行抽测,这个方法容易出现漏抽晶圆片,导致品质异常。例如图1中的6张成品方片,若随机抽取了成品方片1和成品方片3进行抽测,由于成品方片1和成品方片3的LED晶粒没有来自晶圆3的晶粒,则晶圆3的LED晶粒就会出现漏检;若随机抽取了成品方片4和成品方片5进行抽测,由于成品方片4和成品方片5的LED晶粒没有来自晶圆1的晶粒,则晶圆1的LED晶粒就会出现漏检;若随机抽取了成品方片1和成品方片5进行抽测,由于成品方片1和成品方片5的LED晶粒没有来自晶圆2的晶粒,则晶圆2的LED晶粒就会出现漏检。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于,提供一种LED晶粒的抽检方法,抽检效率高,漏检率低,抽检的晶粒包括来自任一LED晶圆的LED晶粒。
本发明还要解决的技术问题在于,提供一种LED晶粒的抽检系统,结构简单,抽检效率高,漏检率低,抽检的晶粒包括来自任一LED晶圆的LED晶粒。
为了解决上述技术问题,本发明提供了一种LED晶粒的抽检方法,包括:
对LED晶圆进行测试,以获取LED晶粒的测试数据;
根据所述LED晶粒的测试数据,将LED晶粒分成若干个分类等级,并从所述分类等级中选出必抽等级,所述必抽等级对应的LED晶粒为必抽晶粒,所述LED晶粒来自至少一个晶圆;
按照分类等级将所述LED晶粒排列至不同的方片上,获得若干张成品方片;
从所述成品方片中选出待抽检方片,所述待抽检方片上的LED晶粒为第一抽检晶粒,所述第一抽检晶粒包括来自任一LED晶圆的必抽晶粒;
对所述待抽检检方片上的第一抽检晶粒进行测试,以判断所述第一抽检晶粒是否满足标准;
若所述待抽检方片上的第一抽检晶粒满足标准,则其余的成品方片不用进行检测并流转至下一工序;
若所述待抽检方片上的第一抽检晶粒不满足标准,则将所有的成品方片扣留。
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