[发明专利]一种半导体清洗设备用六轴机械手

权利要求书

1.一种半导体清洗设备用六轴机械手，设置有支撑底座（1），所述支撑底座（1）的顶部设置有第一轴（2），且第一轴（2）的顶部和第二轴（3）的一端转动连接，所述第二轴（3）的另一端设置有第三轴（4），且第三轴（4）通过第四轴（5）和第五轴（6）相互连接，所述第五轴（6）的端头处设置有第六轴（7），且第六轴（7）的端头处安装有夹持板（8）；

其特征在于，六轴机械手还包括活动板（9），且活动板（9）的截面为“𠃎”形结构，并且“𠃎”形活动板（9）的横形板通过夹持板（8）表面开设的通槽（10）设置在所述夹持板（8）的内侧，所述活动板（9）通过通槽（10）和夹持板（8）组成滑动结构，且活动板（9）的底部一端通过第二弹簧（11）和夹持板（8）的内壁固定连接，所述夹持板（8）内固定有分隔板（12），且活动板（9）的底部另一端和引导绳（13）的一端固定连接，并且夹持板（8）上开设有固定孔（14），并且活动板（9）的横形板和分隔板（12）为滑动连接，同时移动后的活动板（9）的横形板穿过固定孔（14）；

阀板（15），固定在所述引导绳（13）的另一端，所述夹持板（8）内开设有密封的固定腔（16），阀板（15）设置在固定腔（16）内，且夹持板（8）的侧壁设置有输气腔（17），所述输气腔（17）的底部通过连接管（18）和活动板（9）固定连接，且活动板（9）的竖形板的内部开设有缓流腔（19），并且活动板（9）的竖形板的侧面安装有吸盘（20）；

牵引绳（21），其底部与所述阀板（15）的上端面固定连接，所述牵引绳（21）的顶部和活动块（22）相互连接，所述夹持板（8）内开设有连接腔（23），且活动块（22）设置在连接腔（23）内，所述连接腔（23）的两侧分别设置有第一出风孔（24）和第二出风孔（25），且连接腔（23）的顶部和连接通道（26）的一端相互连接，并且连接通道（26）的另一端设置有输气管（27），且连接通道（26）设置在夹持板（8）上；

所述阀板（15）的边缘处和固定腔（16）的内壁紧密贴合，且阀板（15）和固定腔（16）为纵向的滑动连接，并且固定腔（16）通过输气腔（17）和连接管（18）相连通；

所述连接管（18）为弹簧管结构，且连接管（18）通过缓流腔（19）和吸盘（20）相互连通；

所述活动块（22）的内部贯穿有活动轴（221），且活动块（22）通过活动轴（221）和夹持板（8）组成转动结构，并且活动块（22）的截面为“L”形结构，同时活动块（22）的转动范围为0-90°；

所述活动轴（221）的两端均缠绕有带动活动块（22）复位的第三弹簧（222），且活动块（22）的两端侧面均粘贴有橡胶材质的密封块（223），并且密封块（223）的厚度等于活动块（22）和连接腔（23）的最短距离；

所述第一出风孔（24）和第二出风孔（25）均为倾斜向下设置，且两者与连接腔（23）的连通状态相反，并且连接腔（23）通过连接通道（26）和输气管（27）相连通。

2.根据权利要求1所述的一种半导体清洗设备用六轴机械手，其特征在于：所述夹持板（8）的两侧均设置有限位板（81），且限位板（81）和夹持板（8）组成转动结构。

3.根据权利要求2所述的一种半导体清洗设备用六轴机械手，其特征在于：所述限位板（81）的侧面通过第一弹簧（82）和夹持板（8）相互连接，且限位板（81）关于夹持板（8）的竖轴线对称设置有2组，并且相邻2块限位板（81）平行设置。