[发明专利]一种半导体清洗设备用六轴机械手

说明书

本发明公开了一种半导体清洗设备用六轴机械手，设置有支撑底座，所述支撑底座的顶部设置有第一轴；六轴机械手还包括活动板，且活动板的截面为“𠃎”形结构，并且“𠃎”形活动板的横形板通过夹持板表面开设的通槽设置在所述夹持板的内侧；阀板，固定在所述引导绳的另一端，所述夹持板内开设有密封的固定腔；牵引绳，其底部与所述阀板的上端面固定连接，所述连接腔的两侧分别设置有第一出风孔和第二出风孔。该半导体清洗设备用六轴机械手，在对半导体器件收容装置夹持过后，可通过吹风的方式将其内部浮灰吹落，为后续的清洗提供便捷，并且在夹持过程中，设有对半导体器件收容装置限位的结构，保证运送过程中不会出现掉落的现象。

技术领域

本发明涉及半导体清洗设备技术领域，具体为一种半导体清洗设备用六轴机械手。

背景技术

半导体晶圆表面的清理需要使用到特定的清洗设备，其中人工清洗不足以达到精密度以及洁净度要求，因此需要在清洗设备中设置机械手机构来代替人工手动操作。六轴机械手通过更多轴向的运动，可满足半导体清洗过程中的多角度以及精度要求，例如公开号为CN213647559U的一种新型六轴机械手…解决了现有六轴机械手在加工轴上不具备清理结构，在工厂中一些操作完成后需要对机械手的操作夹具进行清理，人工清理费时费力，且降低了生产速度的问题，具备了清理加工轴的优点。但是该新型六轴机械手在实际使用过程中依旧存在以下缺点：

1.由于半导体晶圆在清洗过程中首先放入承载花篮中，因此在夹持过程中为了避免对承载花篮里面的半导体晶圆造成损坏，通常夹持力度有限，这就容易在运送过程中出现掉落的现象，因此传统的机械手则缺少在夹持后保持花篮稳定的结构；

2.由于承载花篮在清洗之前，其表面会粘附不同量的灰尘，而对其清理完全依靠后续的清洗设备，因此会增加清洗难度和时间，在对承载花篮夹持过程中，缺少对其表面浮灰吹落的结构。

针对上述问题，急需在原有六轴机械手的基础上进行创新设计。

发明内容

本发明的目的在于提供一种半导体清洗设备用六轴机械手，以解决上述背景技术提出在对半导体器件收容装置夹持过程中，缺少对半导体器件收容装置里的器件表面浮灰吹落的结构，且容易在运送过程中出现掉落的现象，因此传统的机械手则缺少在夹持后保持半导体器件收容装置稳定的结构的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种半导体清洗设备用六轴机械手，设置有支撑底座，所述支撑底座的顶部设置有第一轴，且第一轴的顶部和第二轴的一端转动连接，所述第二轴的另一端设置有第三轴，且第三轴通过第四轴和第五轴相互连接，所述第五轴的端头处设置有第六轴，且第六轴的端头处安装有夹持板；

六轴机械手还包括活动板，且活动板的截面为“𠃎”形结构，并且“𠃎”形活动板的横形板通过夹持板表面开设的通槽设置在所述夹持板的内侧，所述活动板通过通槽和夹持板组成滑动结构，且活动板的底部一端通过第二弹簧和夹持板的内壁固定连接，所述夹持板内固定有分隔板，且活动板的底部另一端和引导绳的一端固定连接，并且夹持板上开设有固定孔，并且活动板的横形板和分隔板为滑动连接，同时移动后的活动板的横形板穿过固定孔内；

阀板，固定在所述引导绳的另一端，所述夹持板内开设有密封的固定腔，阀板设置在固定腔内，且夹持板的侧壁设置有输气腔，所述输气腔的底部通过连接管和活动板固定连接，且活动板的竖形板的内部开设有缓流腔，并且活动板的竖形板的侧面安装有吸盘；

牵引绳，其底部与所述阀板的上端面固定连接，所述牵引绳的顶部和活动块相互连接，所述夹持板内开设有连接腔，且活动块设置在连接腔内，所述连接腔的两侧分别设置有第一出风孔和第二出风孔，且连接腔的顶部和连接通道的一端相互连接，并且连接通道的另一端设置有输气管；

所述阀板的边缘处和固定腔的内壁紧密贴合，且阀板和固定腔为纵向的滑动连接，并且固定腔通过输气腔和连接管相连通，当引导绳被拉动后，能够拉动阀板在固定腔内向下滑动，进而产生吸力，并通过输气腔传递至连接管内；