[发明专利]压力动态补偿塑封压机有效

专利信息
申请号: 202111202079.2 申请日: 2021-10-15
公开(公告)号: CN113937035B 公开(公告)日: 2022-08-26
发明(设计)人: 徐超;黄明玖;郑天勤;方唐利;胡火根;王航;吴成胜 申请(专利权)人: 安徽耐科装备科技股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 梁晓婷
地址: 244000 *** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 压力 动态 补偿 塑封
【权利要求书】:

1.一种压力动态补偿塑封压机,其特征在于,所述压力动态补偿塑封压机包括:

机架(110),包括竖框(112),所述竖框(112)上开设有直线轨道(113);

多个电机(120),安装在所述机架(110)上;

多根丝杆(150),多根所述丝杆(150)平行设置,一根所述丝杆(150)由一个所述电机(120)驱动旋转;

活动台板(160),内嵌有螺母,所述活动台板(160)通过所述螺母与全部所述丝杆(150)螺纹配合,所述活动台板(160)远离所述丝杆(150)的表面为台面塑封区域(161),所述直线轨道(113)平行于所述丝杆(150),所述活动台板(160)与所述直线轨道(113)滑动配合;

多个压力传感器,用于监测所述台面塑封区域(161)上各处的压力值;

控制器,与全部所述压力传感器和全部所述电机(120)连接,所述控制器用于根据所述压力传感器监测到的压力值,控制各个所述电机(120)的运转状态,实现对所述台面塑封区域(161)上承受的压力进行动态补偿;

所述台面塑封区域(161)为方形,所述丝杆(150)的数量为四根,四根所述丝杆(150)分布在所述台面塑封区域(161)的四个角区域,每个所述角区域布置至少一个所述压力传感器,每相邻两个所述角区域之间具有一个面区域,每个所述面区域沿长度方向布置至少两个所述压力传感器;

在所述角区域的压力值小于标准压力值的情况下,所述控制器控制所述角区域的所述丝杆(150)旋转使所述角区域的压力值增大至所述标准压力值;

在所述角区域的压力值大于标准压力值的情况下,所述控制器控制所述角区域的所述丝杆(150)旋转使所述角区域的压力值减小至所述标准压力值;

在所述角区域的压力值等于标准压力值的情况下,所述控制器控制所述角区域的所述丝杆(150)暂停旋转使所述角区域的压力值保持等于所述标准压力值;

在所述面区域的多个压力值均小于标准压力值的情况下,所述控制器控制所述面区域两侧的所述丝杆(150)旋转使所述面区域的至少一个压力值增大至所述标准压力值;

在所述面区域的多个压力值均大于标准压力值的情况下,所述控制器控制所述面区域两侧的所述丝杆(150)旋转使所述面区域的至少一个压力值减小至所述标准压力值;

在所述面区域的多个压力值均等于标准压力值的情况下,所述控制器控制所述面区域两侧的所述丝杆(150)暂停旋转使所述面区域的压力值保持等于所述标准压力值;

在所述面区域的一个压力值大于标准压力值、另一个压力值小于标准压力值的情况下,所述控制器控制压力值较小一侧的所述丝杆(150)旋转使所述面区域该侧的压力值增大至所述标准压力值,控制压力值较大一侧的所述丝杆(150)旋转使所述面区域该侧的压力值减小至所述标准压力值。

2.根据权利要求1所述的压力动态补偿塑封压机,其特征在于,所述机架(110)包括:

底框(111),安装有所述电机(120)。

3.根据权利要求1所述的压力动态补偿塑封压机,其特征在于,所述压力动态补偿塑封压机还包括:

减速机(130),连接在所述电机(120)的输出轴上;

联轴器(140),连接在所述减速机(130)与所述丝杆(150)之间。

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