[发明专利]压力动态补偿塑封压机有效
申请号: | 202111202079.2 | 申请日: | 2021-10-15 |
公开(公告)号: | CN113937035B | 公开(公告)日: | 2022-08-26 |
发明(设计)人: | 徐超;黄明玖;郑天勤;方唐利;胡火根;王航;吴成胜 | 申请(专利权)人: | 安徽耐科装备科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 梁晓婷 |
地址: | 244000 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压力 动态 补偿 塑封 | ||
1.一种压力动态补偿塑封压机,其特征在于,所述压力动态补偿塑封压机包括:
机架(110),包括竖框(112),所述竖框(112)上开设有直线轨道(113);
多个电机(120),安装在所述机架(110)上;
多根丝杆(150),多根所述丝杆(150)平行设置,一根所述丝杆(150)由一个所述电机(120)驱动旋转;
活动台板(160),内嵌有螺母,所述活动台板(160)通过所述螺母与全部所述丝杆(150)螺纹配合,所述活动台板(160)远离所述丝杆(150)的表面为台面塑封区域(161),所述直线轨道(113)平行于所述丝杆(150),所述活动台板(160)与所述直线轨道(113)滑动配合;
多个压力传感器,用于监测所述台面塑封区域(161)上各处的压力值;
控制器,与全部所述压力传感器和全部所述电机(120)连接,所述控制器用于根据所述压力传感器监测到的压力值,控制各个所述电机(120)的运转状态,实现对所述台面塑封区域(161)上承受的压力进行动态补偿;
所述台面塑封区域(161)为方形,所述丝杆(150)的数量为四根,四根所述丝杆(150)分布在所述台面塑封区域(161)的四个角区域,每个所述角区域布置至少一个所述压力传感器,每相邻两个所述角区域之间具有一个面区域,每个所述面区域沿长度方向布置至少两个所述压力传感器;
在所述角区域的压力值小于标准压力值的情况下,所述控制器控制所述角区域的所述丝杆(150)旋转使所述角区域的压力值增大至所述标准压力值;
在所述角区域的压力值大于标准压力值的情况下,所述控制器控制所述角区域的所述丝杆(150)旋转使所述角区域的压力值减小至所述标准压力值;
在所述角区域的压力值等于标准压力值的情况下,所述控制器控制所述角区域的所述丝杆(150)暂停旋转使所述角区域的压力值保持等于所述标准压力值;
在所述面区域的多个压力值均小于标准压力值的情况下,所述控制器控制所述面区域两侧的所述丝杆(150)旋转使所述面区域的至少一个压力值增大至所述标准压力值;
在所述面区域的多个压力值均大于标准压力值的情况下,所述控制器控制所述面区域两侧的所述丝杆(150)旋转使所述面区域的至少一个压力值减小至所述标准压力值;
在所述面区域的多个压力值均等于标准压力值的情况下,所述控制器控制所述面区域两侧的所述丝杆(150)暂停旋转使所述面区域的压力值保持等于所述标准压力值;
在所述面区域的一个压力值大于标准压力值、另一个压力值小于标准压力值的情况下,所述控制器控制压力值较小一侧的所述丝杆(150)旋转使所述面区域该侧的压力值增大至所述标准压力值,控制压力值较大一侧的所述丝杆(150)旋转使所述面区域该侧的压力值减小至所述标准压力值。
2.根据权利要求1所述的压力动态补偿塑封压机,其特征在于,所述机架(110)包括:
底框(111),安装有所述电机(120)。
3.根据权利要求1所述的压力动态补偿塑封压机,其特征在于,所述压力动态补偿塑封压机还包括:
减速机(130),连接在所述电机(120)的输出轴上;
联轴器(140),连接在所述减速机(130)与所述丝杆(150)之间。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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