[发明专利]压力动态补偿塑封压机

说明书

本发明的实施例提供了一种压力动态补偿塑封压机，涉及半导体技术领域。压力动态补偿塑封压机包括机架、电机、丝杆、活动台板、压力传感器和控制器，多个电机安装在机架上，多根丝杆平行设置，一根丝杆由一个电机驱动旋转，活动台板与全部丝杆螺纹配合，活动台板远离丝杆的表面为台面塑封区域，多个压力传感器用于监测台面塑封区域上各处的压力值，控制器与全部压力传感器和全部电机连接，控制器用于根据压力传感器监测到的压力值，控制各个电机的运转状态，实现对台面塑封区域上承受的压力进行动态补偿。压力动态补偿塑封压机能够根据实时塑封状态，对活动台板的台面塑封区进行动态补偿，使塑封出来的产品受力均匀，无溢料现象。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种压力动态补偿塑封压机。

背景技术

目前，半导体芯片的塑封工艺一般采用塑封压机完成，塑封压机受力的稳定性是最重要的性能之一。现有的塑封压机是将一根丝杆固定在升降座上，升降座连接曲柄销轴机构，曲柄销轴机构上连接有活动台板，在伺服电机驱动丝杆转动的过程中，丝杆带动升降座上下移动，升降座驱动曲柄销轴机构运动，曲柄销轴机构带动活动台板上下移动，使活动台板压紧半导体芯片，完成对半导体芯片的塑封工艺。

但是，由于现有的塑封压机中，采用一根丝杆通过曲柄销轴机构来驱动活动台板上下移动，活动台板的台面塑封区域受力容易不均匀，再加上不能够根据实时塑封状态，对活动台板的台面塑封区进行动态补偿，会使塑封出来的产品出现压力不均、溢料的概率增大。

发明内容

本发明的目的包括提供一种压力动态补偿塑封压机，其能够根据实时塑封状态，对活动台板的台面塑封区进行动态补偿，使塑封出来的产品受力均匀，无溢料现象。

本发明的实施例可以这样实现：

本发明提供一种压力动态补偿塑封压机，压力动态补偿塑封压机包括：

机架；

多个电机，安装在机架上；

多根丝杆，多根丝杆平行设置，一根丝杆由一个电机驱动旋转；

活动台板，与全部丝杆螺纹配合，活动台板远离丝杆的表面为台面塑封区域；

多个压力传感器，用于监测台面塑封区域上各处的压力值；

控制器，与全部压力传感器和全部电机连接，控制器用于根据压力传感器监测到的压力值，控制各个电机的运转状态，实现对台面塑封区域上承受的压力进行动态补偿。

在可选的实施方式中，控制器中存储有台面塑封区域所需的标准压力值，控制器用于在压力传感器监测到的压力值小于标准压力值的情况下，控制与压力传感器最近的电机驱动丝杆旋转，以使活动台板向远离丝杆的方向移动。

在可选的实施方式中，控制器用于在压力传感器监测到的压力值大于标准压力值的情况下，控制与压力传感器最近的电机驱动丝杆旋转，以使活动台板向靠近丝杆的方向移动。

在可选的实施方式中，控制器用于在压力传感器监测到的压力值等于标准压力值的情况下，控制与压力传感器最近的电机暂停运转，以使活动台板保持位置不变。

在可选的实施方式中，台面塑封区域为矩形或方形，丝杆的数量为四根，四根丝杆分布在台面塑封区域的四个角区域，每个角区域布置至少一个压力传感器，每相邻两个角区域之间具有一个面区域，每个面区域沿长度方向布置至少两个压力传感器。

在可选的实施方式中，在角区域的压力值小于标准压力值的情况下，控制器控制角区域的丝杆旋转使角区域的压力值增大至标准压力值；

在角区域的压力值大于标准压力值的情况下，控制器控制角区域的丝杆旋转使角区域的压力值减小至标准压力值；