[发明专利]线宽参数测量方法、装置及图像处理设备

权利要求书

1.一种线宽参数测量方法，其特征在于，包括：

接收待测线宽样板的像素图像；

获取标准线宽样板的标准线宽参数；

根据所述像素图像确定所述待测线宽样板的像素线宽参数；

根据所述标准线宽参数、所述像素线宽参数和转换关系确定所述待测线宽样板的真实线宽参数；其中，所述转换关系用于表征所述像素线宽参数和所述真实线宽参数之间的关系；

或者，利用最小二乘法，对所述像素线宽参数进行亚像素边缘识别，并根据亚像素边缘识别的结果确定所述待测线宽样板的真实线宽参数。

2.根据权利要求1所述的线宽参数测量方法，其特征在于，所述根据所述标准线宽参数、所述像素线宽参数和转换关系确定所述待测线宽样板的真实线宽参数，包括：

根据所述标准线宽参数确定转换参数；

根据所述转换参数、所述像素线宽参数和所述转换关系确定所述待测线宽样板的真实线宽参数。

3.根据权利要求2所述的线宽参数测量方法，其特征在于，所述像素线宽参数包括所述待测线宽样板的像素长度和像素宽度；所述真实线宽参数包括所述待测线宽样板的真实长度和真实宽度；所述转换关系为：

其中，m₁为所述像素长度，n₁为所述像素宽度，m₂为所述真实长度，n₂为所述真实宽度，k₁和k₂为所述转换参数。

4.根据权利要求3所述的线宽参数测量方法，其特征在于，所述标准线宽样板为VLSI线宽样板；所述根据所述转换参数、所述像素线宽参数和所述转换关系确定所述待测线宽样板的真实线宽参数，包括：

利用VLSI线宽样板标定矩形框，以得到所述转换参数k₁和k₂；

设定与所述像素线宽参数边缘齐整的矩形框；

根据所述转换参数k₁和k₂、和设定的矩形框和所述转换关系计算所述待测线宽样板的真实线宽参数。

5.一种线宽参数测量装置，其特征在于，包括：

接收模块，用于接收待测线宽样板的像素图像；

获取模块，用于获取标准线宽样板的标准线宽参数；

第一计算模块，用于根据所述像素图像确定所述待测线宽样板的像素线宽参数；

第二计算模块，用于根据所述标准线宽参数、所述像素线宽参数和转换关系确定所述待测线宽样板的真实线宽参数；其中，所述转换关系用于表征所述像素线宽参数和所述真实线宽参数之间的关系；

或者，利用最小二乘法，对所述像素线宽参数进行亚像素边缘识别，并根据亚像素边缘识别的结果确定所述待测线宽样板的真实线宽参数。

6.根据权利要求5所述的线宽参数测量装置，其特征在于，所述第二计算模块，包括：

第一计算单元，用于根据所述标准线宽参数确定转换参数；

第二计算单元，用于根据所述转换参数、所述像素线宽参数和所述转换关系确定所述待测线宽样板的真实线宽参数。

7.根据权利要求6所述的线宽参数测量装置，其特征在于，其特征在于，所述像素线宽参数包括所述待测线宽样板的像素长度和像素宽度；所述真实线宽参数包括所述待测线宽样板的真实长度和真实宽度；所述转换关系为：

其中，m₁为所述像素长度，n₁为所述像素宽度，m₂为所述真实长度，n₂为所述真实宽度，k₁和k₂为所述转换参数。

8.一种图像处理设备，包括存储器、处理器以及存储在所述存储器中并可在所述处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现如上的权利要求1至4中任一项所述线宽参数测量方法的步骤。