[发明专利]线宽参数测量方法、装置及图像处理设备

说明书

本发明提供一种线宽参数测量方法、装置及图像处理设备。该方法包括：接收待测线宽样板的像素图像；获取标准线宽样板的标准线宽参数；根据像素图像确定待测线宽样板的像素线宽参数；根据标准线宽参数、像素线宽参数和转换关系确定待测线宽样板的真实线宽参数；其中，转换关系用于表征像素线宽参数和真实线宽参数之间的关系；或者，利用最小二乘法，对像素线宽参数进行亚像素边缘识别，并根据亚像素边缘识别的结果确定待测线宽样板的真实线宽参数。本发明能够提高测量线宽参数的准确性。

技术领域

本发明涉及半导体测量技术领域，尤其涉及一种线宽参数测量方法、装置、图像处理设备及存储介质。

背景技术

在半导体器件制备工艺中，存在影响器件性能的关键工艺参数。例如：某器件的线条宽度如果偏差10％以上，则器件的整体性能则会大幅度下降。因此，通常采用扫描电子显微镜、CD(Critical Dimension)测试仪等线宽测量仪器，来监测线宽参数。由于线宽测量仪器的测量原理不同，造成测量误差较大。因此，需要研制线宽样板，用来校准线宽测量仪器，进而实现量值的统一、准确与可靠。

针对研制的线宽样板，采用关键尺寸扫描电子显微镜(Critical DimensionScanning Electron Microscope，CD-SEM)进行定标。CD-SEM具有自动获取线宽边缘，实现自动测量的功能。但是，由于设备老化、测量算法移植性交叉，面对复杂背景下的线宽参数，识别边缘的能力有限，造成测量误差大。即现有技术中测量线宽参数的方式不够准确。

发明内容

本发明实施例提供了一种线宽参数测量方法、装置及图像处理设备，以解决现有技术中测量线宽参数的方式不够准确的问题。

第一方面，本发明实施例提供了一种线宽参数测量方法，包括：

接收待测线宽样板的像素图像；

获取标准线宽样板的标准线宽参数；

根据像素图像确定待测线宽样板的像素线宽参数；

根据标准线宽参数、像素线宽参数和转换关系确定待测线宽样板的真实线宽参数；其中，转换关系用于表征像素线宽参数和真实线宽参数之间的关系；

或者，利用最小二乘法，对像素线宽参数进行亚像素边缘识别，并根据亚像素边缘识别的结果确定待测线宽样板的真实线宽参数。

在一种可能的实现方式中，根据标准线宽参数、像素线宽参数和转换关系确定待测线宽样板的真实线宽参数，包括：

根据标准线宽参数确定转换参数；

根据转换参数、像素线宽参数和转换关系确定待测线宽样板的真实线宽参数。

在一种可能的实现方式中，像素线宽参数包括待测线宽样板的像素长度和像素宽度；真实线宽参数包括待测线宽样板的真实长度和真实宽度；转换关系为：

其中，m₁为像素长度，n₁为像素宽度，m₂为真实长度，n₂为真实宽度，k₁和k₂为转换参数。

在一种可能的实现方式中，标准线宽样板为VLSI线宽样板；根据转换参数、像素线宽参数和转换关系确定待测线宽样板的真实线宽参数，包括：

利用VLSI线宽样板标定矩形框，以得到转换参数k₁和k₂；

设定与像素线宽参数边缘齐整的矩形框；

根据转换参数k₁和k₂、和设定的矩形框和转换关系计算待测线宽样板的真实线宽参数。