[发明专利]激光加工装置和激光束的观察方法

权利要求书

1.一种激光加工装置，其中，

该激光加工装置具有：

卡盘工作台，其具有对被加工物进行保持的保持面；

激光振荡器，其振荡出激光；

第一聚光器，其对从该激光振荡器射出的激光束进行会聚而照射至该卡盘工作台所保持的该被加工物；以及

观察单元，其模拟地观察照射至该被加工物的该激光束的聚光点的状态，

该观察单元包含：

第二聚光器，其在与该卡盘工作台的该保持面不同的方向上将该激光束会聚；

显微镜，其将通过该第二聚光器而会聚的该激光束放大；以及

拍摄元件，其对该显微镜所放大的该激光束的聚光点进行观察。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，

该观察单元构成为能够装卸。

3.一种激光束的观察方法，在激光加工装置中模拟地观察照射至被加工物的激光束的状态，该激光加工装置具有：

卡盘工作台，其具有对所述被加工物进行保持的保持面；

激光振荡器，其振荡出激光；以及

第一聚光器，其对从该激光振荡器射出的所述激光束进行会聚而照射至该卡盘工作台所保持的该被加工物，

其中，该激光束的观察方法包含如下的步骤：

准备步骤，准备观察单元，该观察单元具有第二聚光器、显微镜以及拍摄元件，该第二聚光器在与该卡盘工作台的保持面不同的方向上对该激光束进行会聚，该显微镜将通过该第二聚光器而会聚的该激光束放大，该拍摄元件对该显微镜所放大的该激光束的聚光点进行观察；

配设步骤，将该观察单元配设在能够接受从该激光振荡器射出的该激光束的位置；以及

观察步骤，对从该激光振荡器射出并入射至该拍摄元件的该激光束的聚光点的状态进行观察。

4.根据权利要求3所述的激光束的观察方法，其中，

该激光束的观察方法还包含如下的判定步骤：对通过该观察步骤而观察的该激光束的聚光点的状态是否合格进行判定。