[发明专利]一种银钯铜合金靶材的制备方法

权利要求书

1.一种银钯铜合金靶材的制备方法，其特征在于，银钯铜合金靶材按质量百分比包括钯0.1％-3.0％，铜0.1％-3.0％，余量为银；所述制备方法包括如下步骤：

S1、按照银钯铜合金靶材的成分比例称取银钯合金粉和铜粉，均匀混合后进行冷喷涂，形成银钯铜合金胚料；

S2、将步骤S1中得到的银钯铜合金胚料进行退火处理，消除胚料内部应力，得到银钯铜合金胚板；

S3、对步骤S2中得到的银钯铜合金胚板进行多道次冷轧制、热处理以及机械加工，制造得到银钯铜合金靶材。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤S1中，所述银钯合金粉由银锭和钯粒通过惰性气体雾化法、感应等离子球化法、感应等离子雾化法中的一种制备所得。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述银锭纯度不低于4N，钯粒纯度不低于4N；所述铜粉纯度不低于5N。

4.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述银锭和铜粉经稀硝酸浸泡30-60s，然后用去离子水反复清洗、冷风吹干或烘干后再使用。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤S1中，所述银钯合金粉粒度为300-2000目，铜粉粒度为800-10000目。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤S1中，冷喷涂采用可控气氛冷喷涂设备进行喷涂，对喷涂腔体先抽真空，再通过进气阀门向喷涂腔体内部通入循环保护气体氩气。

7.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，步骤S1中，冷喷涂的工艺参数为：喷嘴进口处工作温度为350℃，压力为2-5Mpa，工作气体为氩气，气体流量为20-50m³/h，喷涂距离为40-100mm，送粉量为40-60g/min。

8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤S2中，退火处理温度为650-900℃，退火时间为0.5-2.0小时，退火气氛为氩气。

9.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤S3中，冷轧制的道次为3-6次，每道次变形量为10％-30％，总变形量≥50％。

10.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤S3中，热处理温度为500-600℃，时间为0.5-1.0小时，气氛为氩气。