[发明专利]一种FAC镜装调系统及装调方法

说明书

本发明公开了一种FAC镜装调系统及装调方法，FAC镜装调系统包括物料组件、转移组件、点胶组件、激光器组件、固化组件、准直透镜和CCD相机；物料组件用于放置托盘和FAC镜，转移组件用于分别对托盘和FAC镜进行转移；固化组件用于对托盘的胶液和FAC镜的胶液进行固化，使托盘通过胶液固化与激光器组件中的热沉进行连接，使FAC镜通过胶液固化与托盘连接；准直透镜用于对巴条发射的光束进行准直形成光斑，光斑映射在CCD相机上，并且CCD相机还显示光斑相较于所述巴条的发光中心轴线的偏移方向以及偏移距离，转移组件根据偏移方向以及偏移距离调整FAC镜，本发明实现对托盘和FAC镜的自动化转移和装调操作，从而替代人工手动装调操作，提高对FAC镜的装调精度和效率。

技术领域

本发明属于半导体激光技术领域，特别涉及一种FAC镜的装调系统及装调方法。

背景技术

激光器巴条的FAC（Fast Axis Collimator 光学元件-快轴准直）镜对于出光的光路具有指向性，光路的指向性即光路的方向性，以发散角作为评价光路发散性的依据，发散角的含义是：在发散角的角度内，均有光路出射，当发射角趋近于零，就可近似将光束称为“平行光”。FAC镜的位置影响激光器光束的发散角以及激光器光斑的均匀性，故激光器巴条的FAC镜的位置是整个光路的基础，影响例如慢轴准直透（SAC,Slow Axis Collimator）镜、体布拉格光栅（VBG）等的光路设计以及激光泵浦效率、激光整形等后续应用。

在现有技术中，FAC镜的装调采用纯手动的FAC镜操作平台，手动FAC镜操作平台在装调托盘和FAC镜的过程中，容易产生位置的误差，导致光斑的上下偏移以及左右高低偏移，这样在批量订单生产过程中，无法达到托盘和FAC镜装调的一致性。另外，在手动调节FAC镜位置的过程中，通过人眼直接识别光斑位置，这样在批量订单生产过程中，采用人眼直接识别会导致光斑的位置指向性出现偏差，而且人眼识别光斑的效率低，不适合对FAC镜进行大批量的高精度装调操作。

发明内容

针对上述问题，本发明公开了一种FAC镜装调系统及装调方法，以克服上述问题或者至少部分地解决上述问题。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种FAC镜的装调系统，包括物料组件、转移组件、点胶组件、激光器组件、固化组件和准直透镜和CCD相机；所述物料组件用于放置托盘和FAC镜，所述转移组件用于分别对所述托盘和所述FAC镜进行转移，将所述托盘和所述FAC镜分别转移至所述点胶组件处由所述点胶组件进行点胶，再分别将所述托盘和所述FAC镜由所述点胶组件处转移至所述激光器组件处；所述固化组件用于对所述托盘的胶液和所述FAC镜的胶液进行固化，使所述托盘通过胶液固化与所述激光器组件中的热沉进行连接，使所述FAC镜通过胶液固化与所述托盘连接；所述准直透镜位于所述激光器组件中巴条发射光束的一端，所述CCD相机的镜头与所述准直透镜位于同一水平直线，所述巴条发射的光束经所述准直透镜准直后进入所述CCD相机。

可选的，所述物料组件包括料盘和第一移动单元；所述料盘与所述第一移动单元采用可拆卸式连接，所述第一移动单元驱动所述料盘移动，所述料盘用于放置所述托盘和所述FAC镜。

可选的，所述料盘设有多个插槽，用于插装放置所述托盘和/或所述FAC镜，所述插槽的深度尺寸小于所述托盘和/或所述FAC镜的厚度。

可选的，所述点胶组件包括第二移动单元和气动点胶机，所述第二移动单元与所述气动点胶机连接，所述第二移动单元用于将所述气动点胶机移动至对所述托盘和所述FAC镜进行点胶的位置，所述气动点胶机用于对所述托盘和所述FAC镜进行点胶。

可选的，所述转移组件包括第三移动单元和气动吸头机；所述气动吸头机与所述第三移动单元连接，所述气动吸头机用于对所述托盘和所述FAC镜进行气压吸附固定，所述第三移动单元驱动所述气动吸头机进行往返移动，以转移所述托盘和所述FAC镜。