[发明专利]一种电容式指纹识别芯片大板FT测试系统及测试方法

说明书

本发明公开了一种电容式指纹识别芯片大板FT测试系统及测试方法，涉及半导体器件FT测试技术领域，解决了现有电容式指纹识别芯片的FT测试存在测试效率与准确性低的技术问题。该测试系统包括芯片大板、自动测试设备以及PC主机；芯片大板固定在自动测试设备上，用于放置n个待测芯片，自动测试设备与PC主机通信连接，自动测试设备连接有m个测试板，m个测试板均与PC主机相连；在PC主机的控制下，m个测试板一次与n中的m个待测芯片连接，并对连接的待测芯片进行分时测试。另外，本发明还提供了一种电容式指纹识别芯片大板FT测试方法。本发明不仅提升了FT测试系统的测试速度，还提高FT测试系统的稳定性和准确性。

技术领域

本发明涉及半导体器件FT测试技术领域，尤其涉及一种电容式指纹识别芯片大板FT测试系统及测试方法。

背景技术

在半导体行业中，芯片在进入市场前一般需经过CP（Chip Probing）测试和FT（Functional Test）测试。CP测试是在晶圆流片完成后进行部分重要性能测试；FT测试是芯片从晶圆封装完成后，对芯片性能和功能质量进行测试，并将功能异常或者性能未达到设计标准的芯片筛选出来。电容式指纹芯片在采集指纹图像时会产生激励方波，当该方波被干扰时，采集到的指纹图像会有条纹干扰甚至图像错乱。一片电容式指纹识别芯片大板（下文统称芯片大板）上面有几十甚至上百颗指纹芯片。

目前电容式指纹识别芯片的FT测试一般使用的方法有两种：第一种是，自动测试设备机台上有单颗测试座，只能进行一颗指纹芯片功能测试，这种测试方法稳定性较高，但是设备测试座从一颗指纹芯片移动到下一颗指纹芯片的过程中需要时间，因此整体测试时间比较长；第二种是，自动测试设备机台上有多颗测试座，可同时进行多颗指纹芯片功能测试，但是在多颗指纹芯片同时工作时，产生的激励方波会相互干扰，同时工作的指纹芯片数量越多，干扰越严重，导致采集到的指纹图像质量不稳定，PC主机会对指纹芯片测试结果误判，将良好的芯片测试判定为fail，浪费良品芯片，增加单颗良品芯片的成本价格。

发明内容

本发明的目的在于提供一种电容式指纹识别芯片大板FT测试系统及测试方法，以解决上述第一种FT测试方式存在的测试时间长、效率低的技术问题，以及第二种FT测试方式存在的因多个方波相互干扰而导致的测试准确性低的技术问题。本发明提供的诸多技术方案中的优选技术方案所能产生的诸多技术效果详见下文阐述。

为实现上述目的，本发明提供了以下技术方案：

本发明提供的一种电容式指纹识别芯片大板FT测试系统，包括芯片大板、自动测试设备以及PC主机；所述芯片大板固定在所述自动测试设备上，用于放置n个待测芯片；所述自动测试设备与所述PC主机通信连接；所述自动测试设备连接有m个测试板，m个所述测试板均与所述PC主机相连；在所述PC主机的控制下，m个所述测试板一次与n中的m个所述待测芯片连接，并对连接的所述待测芯片进行分时测试。

进一步地，所述自动测试设备还包括多个测试座；m个所述测试板均与所述测试座固定连接，且每个所述测试板连接至少一个所述测试座；每个所述测试座能够与一个所述待测芯片的引脚连接。

进一步地，所述自动测试设备还包括导电橡胶头、第一运动机构以及第二运动机构；所述第一运动机构与所述导电橡胶头固定连接，用于驱动所述导电橡胶头上下移动，向下移动时所述导电橡胶头能够与所述待测芯片接触；所述第二运动机构与所述芯片大板相连，用于驱动所述芯片大板上下移动或左右水平移动，向下移动时所述测试座能够与所述待测芯片的引脚连接。

本发明还提供了一种电容式指纹识别芯片大板FT测试方法，通过上文所述的电容式指纹识别芯片大板FT测试系统进行如下测试：

S10、将m个所述测试板与n中的m个所述待测芯片进行连接；

S11、对与m个所述测试板连接的所述待测芯片进行开路与短路测试，将不存在开路或短路的所述待测芯片标识为合格；否则，将存在开路或短路的所述待测芯片标识为不合格；