[发明专利]基板载具检测装置和基板载具检测方法

权利要求书

1.一种基板载具检测装置，其特征在于，包括：

承载架，用于承载待检测的基板载具；

设置在所述承载架上的驱动机构，所述驱动机构位于所述基板载具至少一侧，所述驱动机构包括第一驱动组件和第二驱动组件，所述第二驱动组件设置在所述第一驱动组件上，所述第一驱动组件用于驱动所述第二驱动组件沿第一方向运动；

设置于所述第二驱动组件上的至少一个检测探头，所述检测探头用于在所述第二驱动组件的驱动下沿第二方向运动，并用于确定所述检测探头的检测端与所述基板载具之间的距离参数，所述第二方向和所述第一方向交叉。

2.根据权利要求1所述的基板载具检测装置，其特征在于，所述装置还包括：第一导轨，所述第一导轨设置于所述第一驱动组件沿所述第二方向的至少一侧，并沿所述第一方向延伸；

其中，所述第二驱动组件滑动设置在所述第一导轨上。

3.根据权利要求1所述的基板载具检测装置，其特征在于，所述第二驱动组件包括：安装部、第二旋转型电机、第二丝杠和套设在所述第二丝杠上的第二螺母，

所述安装部设置在所述第一驱动组件上，所述第二旋转型电机设置在所述安装部上；

所述第二旋转型电机与所述第二丝杠连接，用于驱动所述第二丝杠绕自身轴线旋转；

所述至少一个检测探头固定设置于所述第二螺母上。

4.根据权利要求3所述的基板载具检测装置，其特征在于，所述装置还包括：设置在所述安装部上的第二导轨，

所述第二导轨设置于所述第二驱动组件沿所述第一方向的至少一侧，并沿所述第二方向延伸；

其中，所述第二螺母滑动设置在所述第二导轨上。

5.根据权利要求1至4中任意一项所述的基板载具检测装置，其特征在于，所述第一驱动组件包括：第一旋转型电机、第一丝杠和套设在所述第一丝杠上的第一螺母；

所述第一旋转型电机与所述第一丝杠连接，用于驱动所述第一丝杠绕自身轴线旋转；

其中，所述第二驱动组件设置在所述第一螺母上。

6.根据权利要求1至4中任意一项所述的基板载具检测装置，其特征在于，所述第一驱动组件包括直线型电机，

所述直线型电机包括定子轨道和动子滑块，所述定子轨道沿所述第一方向延伸，所述动子滑块用于沿所述定子轨道运动；

所述第二驱动组件设置在所述动子滑块上。

7.根据权利要求1至4中任意一项所述的基板载具检测装置，其特征在于，所述检测探头包括：

激光测距仪和/或千分表。

8.根据权利要求1至4中任意一项所述的基板载具检测装置，其特征在于，所述装置还包括：控制器，所述控制器与所述至少一个检测探头连接，用于控制所述检测探头的开启或关闭。

9.根据权利要求1至4中任意一项所述的基板载具检测装置，其特征在于，所述装置还包括：处理器，所述处理器用于根据每个所述检测探头的所述距离参数，确定所述基板载具的平面度。

10.一种基板载具检测方法，应用于权利要求1至9中任一项所述的基板载具检测装置，其特征在于，所述方法包括：

所述第二驱动组件在所述第一驱动组件的驱动下，沿第一方向运动；

所述检测探头在所述第二驱动组件的驱动下，沿第二方向运动，并确定所述检测探头的检测端与所述基板载具之间的距离参数，所述第二方向与所述第一方向交叉；

根据所述检测探头所检测到的所述距离参数，确定所述基板载具的平面度。