[发明专利]基板载具检测装置和基板载具检测方法

说明书

本公开提供了一种基板载具检测装置和基板载具检测方法。所述基板载具检测装置，包括：承载架，用于承载待检测的基板载具；设置在承载架上的驱动机构，驱动机构位于基板载具至少一侧，驱动机构包括第一驱动组件和第二驱动组件，第二驱动组件设置在第一驱动组件上，第一驱动组件用于驱动第二驱动组件沿第一方向运动；设置于第二驱动组件上的至少一个检测探头，检测探头用于在第二驱动组件的驱动下沿第二方向运动，并用于确定检测探头的检测端与基板载具之间的距离参数，第二方向和第一方向交叉。

技术领域

本公开涉及电化学沉积领域，具体涉及一种基板载具检测装置和基板载具检测方法。

背景技术

基板载具用于承载玻璃基板生长导电层，其制作精度对设备的自动化运行效率及产品产能、产品良率都有着非常重要的影响。

发明内容

本公开实施例提供一种基板载具检测装置和基板载具检测方法。

第一方面，本公开提供一种基板载具检测装置，包括：

承载架，用于承载待检测的基板载具；

设置在承载架上的驱动机构，驱动机构位于基板载具至少一侧，驱动机构包括第一驱动组件和第二驱动组件，第二驱动组件设置在第一驱动组件上，第一驱动组件用于驱动第二驱动组件沿第一方向运动；

设置于第二驱动组件上的至少一个检测探头，检测探头用于在第二驱动组件的驱动下沿第二方向运动，并用于确定检测探头的检测端与基板载具之间的距离参数，第二方向和第一方向交叉。

在一些实施例中，装置还包括：第一导轨，第一导轨设置于第一驱动组件沿第二方向的至少一侧，并沿第一方向延伸；

其中，第二驱动组件滑动设置在第一导轨上。

在一些实施例中，第二驱动组件包括：安装部、第二旋转型电机、第二丝杠和套设在第二丝杠上的第二螺母，

安装部设置在第一驱动组件上，第二旋转型电机设置在安装部上；

第二旋转型电机与第二丝杠连接，用于驱动第二丝杠绕自身轴线旋转；

至少一个检测探头固定设置于第二螺母上。

在一些实施例中，装置还包括：设置在安装部上的第二导轨，

第二导轨设置于第二驱动组件沿第一方向的至少一侧，并沿第二方向延伸；

其中，第二螺母滑动设置在第二导轨上。

在一些实施例中，第一驱动组件包括：第一旋转型电机、第一丝杠和套设在第一丝杠上的第一螺母；

第一旋转型电机与第一丝杠连接，用于驱动第一丝杠绕自身轴线旋转；

其中，第二驱动组件设置在第一螺母上。

在一些实施例中，第一驱动组件包括直线型电机，

直线型电机包括定子轨道和动子滑块，定子轨道沿第一方向延伸，动子滑块用于沿定子轨道运动；

第二驱动组件设置在动子滑块上。

在一些实施例中，检测探头包括：

激光测距仪和/或千分表。

在一些实施例中，装置还包括：控制器，控制器与至少一个检测探头连接，用于控制检测探头的开启或关闭；

在一些实施例中，装置还包括：处理器，处理器用于根据每个检测探头的距离参数，确定基板载具的平面度。

第二方面，本公开提供了一种基板载具检测方法，应用于上述基板载具检测装置，方法包括：