[发明专利]一种晶圆盒对位翻转机构

权利要求书

1.一种晶圆盒对位翻转机构，其特征在于，包括：

第一旋转组件(31)，所述第一旋转组件(31)包括用于承载晶圆盒的第一旋转座(311)，第一旋转轴(312)和第一旋转驱动电机(313)，第一旋转驱动电机(313)能够驱动第一旋转座(311)绕第一旋转轴(312)旋转，还包括固定于第一旋转座(311)上的第一定位总成(314)和推动总成(319)；

所述第一旋转座(311)包括相互垂直的第一发出固定板(3111)，第二发出固定板(3112)；

所述第一定位总成(314)，包括设置于第一发出固定板(3111)上的第一滑动定位座(3140)，设置于第一滑动定位座(3140)一侧的两个第一固定定位块(3143)，设置于第一滑动定位座(3140)另一侧的两个第一滑动定位块(3144)，第一滑动定位驱动件(3146)推动第一滑动定位块(3144)靠近或者远离第一固定定位块(3143)，以对晶圆盒(9)底部进行四角定位；还包括设置于第二发出固定板(3112)上的远离第一发出固定板(3111)一侧的位置设置有第二固定定位块(3141)；

第二滑动定位座(3240)由第二滑动定位驱动件(3246)驱动而使第二滑动定位座(3240)靠近或者远离第二接收固定板(3212)；

所述推动总成(319)用于向着晶圆盒(9)开口方向推动第一旋转组件(31)上晶圆盒(9)内的晶圆；

与所述第一旋转组件(31)相对设置的第二旋转组件(32)，所述第二旋转组件(32)包括用于承载晶圆盒的第二旋转座(321)，第二旋转轴(322)和第二旋转驱动电机(323)，第二旋转驱动电机(323)能够驱动第二旋转座(321)绕第二旋转轴(322)旋转；

第二旋转座(321)包括相互垂直的第一接收固定板(3211)和第二接收固定板(3212)；

第二定位总成(324)，包括设置于第一接收固定板(3211)上的第二滑动定位座(3240)，设置于第二滑动定位座(3240)一侧的两个第三固定定位块(3243)，设置于第二滑动定位座(3240)另一侧的两个第二滑动定位块(3244)，接收端滑动定位驱动件(3245)推动第二滑动定位块(3244)靠近或者远离第三固定定位块(3243)，以对晶圆盒(9)底部进行四角定位；还包括设置于第二接收固定板(3212)上的远离第一接收固定板(3211)一侧的位置设置有第四固定定位块(3241)；所述推动总成(319)包括推杆(3191)，推动滑轨(3192)和推动驱动器(3193)，推动驱动器(3193)驱动推杆(3191)在推动滑轨(3192)上运动，使推杆(3191)穿过第一旋转座(311)上的第一过孔(31111)推动晶圆盒内的晶圆进入第二旋转组件(32)上的晶圆盒完成倒盒；第一接收固定板(3211)、第二接收固定板(3212)、第一固定定位块(3143)、第二固定定位块(3141)、第三固定定位块(3243)和第四固定定位块(3241)均为L形；第二发出固定板(3112)和第二接收固定板(3212)上分别设置有滚轮(33)支撑固定第一滑动定位座(3140)和第二滑动定位座(3240) ；在第二旋转组件(32)处还设置有升降组件(329)，用于顶起第二旋转组件(32)的晶圆盒；所述升降组件(329)包括升降块(3291)及升降驱动件(3292)，升降驱动件(3292)驱动升降块(3291)从第二过孔(32111)处穿出，以将晶圆盒顶出升起。

2.根据权利要求1所述的晶圆盒对位翻转机构，其特征在于，第二发出固定板(3112)和第二接收固定板(3212)中间位置的还设置有用于卡住晶圆盒边缘的卡块(3242)。

3.根据权利要求2所述的晶圆盒对位翻转机构，其特征在于，所述卡块(3242)中间具有V形卡槽。