[发明专利]一种晶圆盒对位翻转机构

说明书

本申请涉及一种晶圆盒对位翻转机构，工作时，先将晶圆盒放置到第一旋转座上，第一固定定位块与第一侧边定位块先对晶圆盒底部进行初步固定，发出端滑动定位驱动件推动晶圆盒抵靠住第一固定定位块以对晶圆盒进行固定。而后，第一滑动定位驱动件推动晶圆盒靠近第一固定定位块以对晶圆盒的侧壁进行固定。由于晶圆盒的两个面都被固定，第一旋转座翻转90度时，晶圆盒不会松动，翻转后再由推动总成完成晶圆的推出。本发明的晶圆盒对位翻转机构实现了自动化的晶圆与晶圆盒的分离。

技术领域

本申请属于晶圆生产设备技术领域，尤其是涉及一种晶圆盒对位翻转机构。

背景技术

晶圆在被加工成形及抛光处理的过程中，由于会与各种有机物、粒子及金属接触而被污染，如需要去除光刻胶、去除腐蚀剂、去除颗粒物，因此需要通过晶圆清洗来清除污染物。

在清洗过程中需要使用不同的清洗剂，因此在使用不同清洗剂的清洗槽内进行清洗时，需要多晶圆进行倒盒，也即将晶圆从一个晶圆盒转移到另一个晶圆盒。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种能够自动对晶圆盒进行定位和翻转以便于晶圆在不同晶圆盒进行转移的晶圆盒对位翻转机构。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种晶圆盒对位翻转机构，包括：

第一旋转组件，所述第一旋转组件包括用于承载晶圆盒的第一旋转座，第一旋转轴和第一旋转驱动电机，第一旋转驱动电机能够驱动第一旋转座绕第一旋转轴旋转，还包括固定于第一旋转座上的第一定位总成和推动总成；

所述第一旋转座包括相互垂直的第一发出固定板，第二发出固定板；

所述第一定位总成，包括设置于第一发出固定板上的第一滑动定位座，设置于第一滑动定位座一侧的两个第一固定定位块，设置于第一滑动定位座另一侧的两个第一滑动定位块，第一滑动定位驱动件推动第一滑动定位块靠近或者远离第一固定定位块，以对晶圆盒底部进行四角定位；还包括设置于第二发出固定板上的远离第一发出固定板一侧的位置设置有第二固定定位块；

所述滑动定位座由第二滑动定位驱动件驱动而使滑动定位座靠近或者远离第二接收固定板；

所述推动总成用于向着晶圆盒开口方向推动第一旋转组件上晶圆盒内的晶圆。

优选地，本发明的晶圆盒对位翻转机构，还包括：与所述第一旋转组件相对设置的第二旋转组件，所述第二旋转组件包括用于承载晶圆盒的第二旋转座，第二旋转轴和第二旋转驱动电机，第二旋转驱动电机能够驱动第二旋转座绕第二旋转轴旋转；

第二旋转座包括相互垂直的第一接收固定板和第二接收固定板；

第二定位总成，包括设置于第一接收固定板上的第二滑动定位座，设置于第二滑动定位座一侧的两个第三固定定位块，设置于第二滑动定位座另一侧的两个第二滑动定位块，接收端滑动定位驱动件推动第二滑动定位块靠近或者远离第三固定定位块，以对晶圆盒底部进行四角定位；还包括设置于第二接收固定板上的远离第一接收固定板一侧的位置设置有第四固定定位块。

优选地，本发明的晶圆盒对位翻转机构，所述推动总成包括推杆，推动滑轨和推动驱动器，推动驱动器驱动推杆在推动滑轨上运动，使推杆穿过第一旋转座上的第一过孔推动晶圆盒内的晶圆进入第二旋转组件上的晶圆盒完成倒盒。

优选地，本发明的晶圆盒对位翻转机构，第一接收固定板、第二接收固定板、第一固定定位块、第二固定定位块、第三固定定位块和第四固定定位块均为L形。

优选地，本发明的晶圆盒对位翻转机构，第二发出固定板和第二接收固定板上分别设置有滚轮支撑固定第一滑动定位座和第二滑动定位座。