[发明专利]一种用于滚桶式磁控溅射机的自动翻转装置

权利要求书

1.一种用于滚桶式磁控溅射机的自动翻转装置，包括一镀膜腔，其特征在于：所述镀膜腔内部设有工件架，顶部设有带动工件架旋转的驱动机构；所述工件架包括底板和设于底板上方的顶板，所述底板与顶板之间设有多个用于放置工件的工件盘，各工件盘两侧均设有台阶，相邻工件盘通过台阶匹配契合形成一外部密封的圆周；各工件盘端部均设有翻转机构，所述顶板上方还设有拨杆机构，工件架旋转时，通过拨杆机构多次拨动翻转机构，使翻转机构带动工件盘正反面实现自动翻转；所述翻转机构包括分别设于工件盘两端的上轴和下轴，所述上轴外部与设于顶板内部的上轴承套接在一起，下轴外部与设于底板内部的下轴承套接在一起，其中所述上轴顶端还设置有翻转组件，所述翻转组件具有上下叠加在一起的翻转条和翻转轮，所述翻转条和翻转轮通过销钉与上轴顶端固定在一起；所述拨杆机构包括依次设于顶板上方的第一拨杆组件、第二拨杆组件及第三拨杆组件，所述第一拨杆组件、第二拨杆组件及第三拨杆组件均包括一固定座和设于固定座上部的气缸，所述气缸的伸缩杆穿过固定座后连接一拨杆，其中第二拨杆组件中的拨杆底端连接有用于拨动翻转条的拨轮，所述拨轮底面位置高于第一拨杆组件和第二拨杆组件中的拨杆底面，所述第一拨杆组件的拨杆处于翻转组件内侧，所述第三拨杆组件的拨杆处于翻转组件的外侧，所述第一拨杆组件和第三拨杆组件的拨杆均用于拨动翻转轮。

2.根据权利要求1所述的用于滚桶式磁控溅射机的自动翻转装置，其特征在于：所述驱动机构包括一贯穿设于工件架中心的转轴，所述转轴伸出顶板上方，且转轴顶端设有与外部动力机构连接的皮带轮或者齿轮；所述转轴外壁自顶板表面向上依次套接有轴承座、检测板及固定座，所述固定座与镀膜腔顶部连接，所述轴承座和检测板位于镀膜腔内部，所述检测板边缘均布设有多个豁口；所述镀膜腔内壁固定设有传感器，所述传感器的检测头与检测板边缘的豁口相匹配，工件架旋转时，传感器静止不动，检测板随工件架旋转，当传感器的检测头检测到豁口的次数满足一周后，工件架此时处于原点。

3.根据权利要求1所述的用于滚桶式磁控溅射机的自动翻转装置，其特征在于：所述第一拨杆组件和第三拨杆组件的拨杆拨动翻转轮的范围均为80-100°，第二拨杆组件中的拨轮拨动翻转条的范围是80-100°。

4.根据权利要求3所述的用于滚桶式磁控溅射机的自动翻转装置，其特征在于：所述第一拨杆组件的拨杆第二次拨动翻转轮时，与第二拨杆组件的拨轮拨动翻转条相互配合，将第一拨杆组件的拨杆第一次拨动翻转轮后的翻转组件状态再次翻转180°。

5.根据权利要求1所述的用于滚桶式磁控溅射机的自动翻转装置，其特征在于：所述工件盘上设有多个用于放置工件的凹槽，凹槽边缘设有用于固定工件的压板。

6.根据权利要求1所述的用于滚桶式磁控溅射机的自动翻转装置，其特征在于：所述翻转组件位于下轴底端时，拨杆组件匹配设置于工件架的底板下方。

7.根据权利要求1所述的用于滚桶式磁控溅射机的自动翻转装置，其特征在于：第一拨杆组件、第二拨杆组件及第三拨杆组件中用于带动拨杆伸缩的动力采用液压缸伸缩杆带动拨杆，或者通过步进电机连接丝杠带动拨杆。