[发明专利]一种用于滚桶式磁控溅射机的自动翻转装置

说明书

本发明公开了一种用于滚桶式磁控溅射机的自动翻转装置，包括一镀膜腔，所述镀膜腔内部设有工件架，顶部设有带动工件架旋转的驱动机构；所述工件架包括底板和设于底板上方的顶板，所述底板与顶板之间设有多个用于放置工件的工件盘，各工件盘两侧均设有台阶，相邻工件盘通过台阶匹配契合形成一外部密封的圆周；各工件盘端部均设有翻转机构，所述顶板上方还设有拨杆机构，工件架旋转时，通过拨杆机构多次拨动翻转机构，使翻转机构带动工件盘正反面实现自动翻转。与现有技术相比，本发明不仅能够实现镀膜时零件正反面的自动翻转，而且能防止膜料衍射污染零件背面的功能。

技术领域

本发明涉及磁控溅射机使用技术领域，具体涉及一种用于滚桶式磁控溅射机的自动翻转装置。

背景技术

许多零件在用磁控溅射机镀膜时需要正反两个表面都要镀膜才能满足使用要求。通常的办法是，将零件置于溅射机真空室内先镀完一个表面,然后从真空室内取出进行翻面二次装夹，再放置进真空室内进行第二个表面的镀制。这种方法耗时,效率低下，二次装夹时容易引起零件的污染。

发明内容

为解决上述技术缺陷，本发明的目的是提供一种用于滚桶式磁控溅射机的自动翻转装置，不仅能够实现镀膜时零件正反面的自动翻转，而且能防止膜料衍射污染零件背面的功能。

为达到上述目的，本发明的采取的技术方案是：一种用于滚桶式磁控溅射机的自动翻转装置，包括一镀膜腔，所述镀膜腔内部设有工件架，顶部设有带动工件架旋转的驱动机构；所述工件架包括底板和设于底板上方的顶板，所述底板与顶板之间设有多个用于放置工件的工件盘，各工件盘两侧均设有台阶，相邻工件盘通过台阶匹配契合形成一外部密封的圆周；各工件盘端部均设有翻转机构，所述顶板上方还设有拨杆机构，工件架旋转时，通过拨杆机构多次拨动翻转机构，使翻转机构带动工件盘正反面实现自动翻转。

进一步地，所述驱动机构包括一贯穿设于工件架中心的转轴，所述转轴伸出顶板上方，且转轴顶端设有与外部动力机构连接的皮带轮或者齿轮；所述转轴外壁自顶板表面向上依次套接有轴承座、检测板及固定座，所述固定座与镀膜腔顶部连接，所述轴承座和检测板位于镀膜腔内部，所述检测板边缘均布设有多个豁口；所述镀膜腔内壁固定设有传感器，所述传感器的检测头与检测板边缘的豁口相匹配，工件架旋转时，传感器静止不动，检测板随工件架旋转，当传感器的检测头检测到豁口的次数满足一周后，工件架此时处于原点。

所述翻转机构包括分别设于工件盘两端的上轴和下轴，所述上轴外部与设于顶板内部的上轴承套接在一起，下轴外部与设于底板内部的下轴承套接在一起，其中所述上轴顶端还设置有翻转组件，所述翻转组件具有上下叠加在一起的翻转条和翻转轮，所述翻转条和翻转轮通过销钉与上轴顶端固定在一起。

所述拨杆机构包括依次设于顶板上方的第一拨杆组件、第二拨杆组件及第三拨杆组件，所述第一拨杆组件、第二拨杆组件及第三拨杆组件均包括一固定座和设于固定座上部的气缸，所述气缸的伸缩杆穿过固定座后连接一拨杆，其中第二拨杆组件中的拨杆底端连接有用于拨动翻转条的拨轮，所述拨轮底面位置高于第一拨杆组件和第二拨杆组件中的拨杆底面，所述第一拨杆组件的拨杆处于翻转组件内侧，所述第三拨杆组件的拨杆处于翻转组件的外侧，所述第一拨杆组件和第三拨杆组件的拨杆均用于拨动翻转轮。

所述第一拨杆组件和第三拨杆组件的拨杆拨动翻转轮的范围均为80-100°，第二拨杆组件中的拨轮拨动翻转条的范围是80-100°。

所述第一拨杆组件的拨杆第二次拨动翻转轮时，与第二拨杆组件的拨轮拨动翻转条相互配合，将第一拨杆组件的拨杆第一次拨动翻转轮后的翻转组件状态再次翻转180°。

所述工件盘上设有多个用于放置工件的凹槽，凹槽边缘设有用于固定工件的压板。

所述翻转组件位于下轴底端时，所述拨杆组件匹配设置于工件架的底板下方。

第一拨杆组件、第二拨杆组件及第三拨杆组件中用于带动拨杆伸缩的动力采用液压缸伸缩杆带动拨杆，或者通过步进电机连接丝杠带动拨杆。