[发明专利]扭转型3D MEMS探针在审
| 申请号： | 202111251940.4 | 申请日： | 2021-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN114137263A | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 殷岚勇;施元军;刘凯 | 申请（专利权）人： | 苏州晶晟微纳半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 扭转 mems 探针 | ||
【权利要求书】：
1.一种扭转型3D MEMS探针，其特征在于，包括机械扭曲段和信号段，所述机械扭曲段包括扭曲稳定模块和扭曲储能模块，所述信号段包括悬臂梁和接触针头，所述扭曲稳定模块底部通过焊盘固定连接PCB板，所述扭曲稳定模块连接扭曲储能模块的一端，所述扭曲储能模块的另一端连接悬臂梁，所述扭曲储能模块和悬臂梁底部悬空，所述扭曲储能模块底部设置若干接触脚，所述接触脚通过焊盘固定连接PCB板，所述悬臂梁的外端连接接触针头。
2.根据权利要求1所述的扭转型3D MEMS探针，其特征在于，所述接触针头的材料为铑、钯、铑的合金或钯的合金。
3.根据权利要求1所述的扭转型3D MEMS探针，其特征在于，所述扭曲储能模块和悬臂梁的连接处底部设置接触脚。
4.根据权利要求1所述的扭转型3D MEMS探针，其特征在于，所述机械扭曲段的长度D1为2-6mm，所述机械扭曲段的角度R1为30°～60°。
5.根据权利要求1所述的扭转型3D MEMS探针，其特征在于，所述信号段的长度D2为1-3mm，所述信号段弯曲角度R2为10°-80°。
6.根据权利要求1所述的扭转型3D MEMS探针，其特征在于，所述接触针头的根部设置弧形平台。
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