[发明专利]一种插片机气帘在审
申请号: | 202111255450.1 | 申请日: | 2021-10-27 |
公开(公告)号: | CN113990779A | 公开(公告)日: | 2022-01-28 |
发明(设计)人: | 刘志强;张在存;李永峰 | 申请(专利权)人: | 宁晋松宫电子材料有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人: | 刘煜 |
地址: | 055550 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 插片机气帘 | ||
1.一种插片机气帘,用于相对输送带设置以对由所述输送带运送的待插片件进行清理,其特征在于,包括:
第一吹扫机构,所述第一吹扫机构的出风方向朝向所述输送带;
第二吹扫机构,所述第二吹扫机构与所述第一吹扫机构相对设置,所述第二吹扫机构具有可摆动的多个摆动件,所述摆动件将来自所述第一吹扫机构的风分散吹向所述待插片件。
2.根据权利要求1所述的插片机气帘,其特征在于,还包括:
机架本体,所述机架本体包括底座以及架设在所述底座上的横梁,其中,所述底座沿着所述输送带方向设置,且所述第一吹扫机构设置在所述横梁上。
3.根据权利要求2所述的插片机气帘,其特征在于,所述第二吹扫机构还包括:
驱动部,所述驱动部设置在所述底座的一端;
连杆,所述连杆的一端连接所述驱动部且另一端连接所述摆动件,所述连杆由所述驱动部驱动以在水平方向往复运动并带动所述摆动件摆动。
4.根据权利要求3所述的插片机气帘,其特征在于,所述驱动部包括:
电机;
旋转盘,所述旋转盘装配在所述电机的驱动端,以通过所述电机带动所述旋转盘旋转;
摆动摇臂,所述摆动摇臂的一端连接在所述旋转盘上且另一端连接所述连杆。
5.根据权利要求3或4所述的插片机气帘,其特征在于,还包括:
密封端盖,所述密封端盖内设有空腔,所述驱动部设置在所述空腔内,且所述密封端盖的靠近所述连杆一侧设有通孔,所述连杆穿过所述通孔连接所述摆动摇臂的所述另一端。
6.根据权利要求3所述的插片机气帘,其特征在于,所述连杆包括两根,两根所述连杆相互平行设置以分别位于所述输送带的两侧,所述摆动件形成为倒U形,所述摆动件的两侧摆臂分别连接两侧的所述连杆。
7.根据权利要求6所述的插片机气帘,其特征在于:
所述连杆上沿长度方向间隔开设置有多个第一安装孔,所述摆动件的两侧摆臂分别设有第一连接轴,所述第一连接轴穿设在所述第一安装孔内。
8.根据权利要求7所述的插片机气帘,其特征在于,所述底座包括相互平行的两根框脚,两根所述框脚用于分别设置在所述输送带的两侧,所述框脚上沿长度方向间隔开设有第二安装孔,所述摆动件的所述开口端分别设有第二连接轴,所述第二连接轴可枢转地穿设在所述第二安装孔内。
9.根据权利要求6所述的插片机气帘,其特征在于,所述摆动件上间隔开设置有多个镂空孔洞。
10.根据权利要求1所述的插片机气帘,其特征在于,还包括第三吹扫机构,所述第三吹扫机构与所述第一吹扫机构分别用于设置在所述输送带的上下两侧。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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