[发明专利]一种插片机气帘在审
申请号: | 202111255450.1 | 申请日: | 2021-10-27 |
公开(公告)号: | CN113990779A | 公开(公告)日: | 2022-01-28 |
发明(设计)人: | 刘志强;张在存;李永峰 | 申请(专利权)人: | 宁晋松宫电子材料有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人: | 刘煜 |
地址: | 055550 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 插片机气帘 | ||
本发明提供一种插片机气帘,用于设置对由输送带运送的待插片件进行清理,包括:第一吹扫机构,所述第一吹扫机构的出风方向朝向所述输送带;第二吹扫机构,所述第二吹扫机构与所述第一吹扫机构相对设置,所述第二吹扫机构具有可摆动的多个摆动件,所述摆动件将来自所述第一吹扫机构的风分散吹向所述待插片件。根据本发明实施例的插片机气帘,通过摆动件进行摆动可持续变换不同的迎风角,从而将来自第一吹扫机构的风分散吹向待插片件,以便覆盖至整个待插片件表面,起到了快速、彻底干燥的目的。
技术领域
本发明涉及硅片制备装备技术领域,具体涉及一种插片机气帘。
背景技术
目前超大尺寸硅片加工已成为光伏后续发展趋势。硅片在切片结束后需要进行清洗和降温并插入花篮中。但是,现有的硅片在插入花篮后,由于硅片与花篮壁之间因毛细作用会存留大量的液体,随着硅片尺寸的增加、硅片厚度的降低和花篮清洗片数的增加,在插片时容易出现花篮卡片,硅片容易出现粘连湿片的现象。
现有技术中,为清除硅片上的液体,通常在硅片运输至花篮前,在输送带上设置吹扫风机或吹气帘,以达到干燥硅片的目的。然而,由于这种装置的吹扫风机与硅片的相对位置固定,导致在吹扫过程中,吹扫风机的吹扫区域无法完全覆盖至整个硅片表面,从而无法达到完全干燥的目的。
发明内容
有鉴于此,本发明提供一种插片机气帘,用于解决硅片干燥不完全的问题。
为解决上述技术问题,本发明采用以下技术方案:
根据本发明实施例的插片机气帘,用于相对输送带设置以对由输送带运送的待插片件进行清理,该插片机气帘包括:
第一吹扫机构,所述第一吹扫机构的出风方向朝向所述输送带;
第二吹扫机构,所述第二吹扫机构与所述第一吹扫机构相对设置,所述第二吹扫机构具有可摆动的多个摆动件,所述摆动件将来自所述第一吹扫机构的风分散吹向所述待插片件。
进一步地,该插片机气帘还包括:
机架本体,所述机架本体包括底座以及架设在所述底座上的横梁,其中,所述底座沿着所述输送带方向设置,且所述第一吹扫机构设置在所述横梁上。
进一步地,所述第二吹扫机构还包括:
驱动部,所述驱动部设置在所述底座的一端;
连杆,所述连杆的一端连接所述驱动部且另一端连接所述摆动件,所述连杆由所述驱动部驱动以在水平方向往复运动并带动所述摆动件摆动。
进一步地,所述驱动部包括:
电机;
旋转盘,所述旋转盘装配在所述电机的驱动端,以通过所述电机带动所述旋转盘旋转;
摆动摇臂,所述摆动摇臂的一端连接在所述旋转盘上且另一端连接所述连杆。
进一步地,该插片机气帘还包括:
密封端盖,所述密封端盖内设有空腔,所述驱动部设置在所述空腔内,且所述密封端盖的靠近所述连杆一侧设有通孔,所述连杆穿过所述通孔连接所述摆动摇臂的所述另一端。
进一步地,所述连杆包括两根,两根所述连杆相互平行设置以分别位于所述输送带的两侧,所述摆动件形成为倒U形,所述摆动件的两侧摆臂分别连接两侧的所述连杆。
进一步地,
所述连杆上沿长度方向间隔开设置有多个第一安装孔,所述摆动件的两侧摆臂分别设有第一连接轴,所述第一连接轴穿设在所述第一安装孔内。
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