[发明专利]一种压力补偿装置及方法

说明书

本发明提供了一种压力补偿装置及方法，包括工作架，其特征在于，所述工作架上部具有台面，台面上安装龙门架，台面与龙门架之间安装有转塔，转塔上固定有若干吸嘴支架，吸嘴支架上活动设置有吸嘴，龙门架上还安装有若干下压座，下压座上安装有直线电机，且直线电机的输出轴竖直向下，直线电机的输出轴端部和压杆相连，且压杆能与吸嘴相配合，台面上还通过可拆卸的方式安装有校准座，校准座上具有压力传感器，且任意一个吸嘴均能位于压力传感器相接触。

技术领域

本发明属于半导体技术领域，涉及一种压力补偿装置及方法。

背景技术

在转塔式测试分选机中，不同吸嘴在测试工位下压时需要统一压力，由于对下压压力的精度要求较高，传统通过统一吸嘴高度的方法受限于产品厚度误差，压力精度较低；造成设备测试站稳定性较差，容易产生漏判与误判，因此，需要设计出一种高精度且简单的吸嘴压力补偿装置及方法。

发明内容

本发明的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种压力补偿装置及方法。

本发明的目的可通过下列技术方案来实现：一种压力补偿装置及方法，包括工作架，其特征在于，所述工作架上部具有台面，台面上安装龙门架，台面与龙门架之间安装有转塔，转塔上固定有若干吸嘴支架，吸嘴支架上活动设置有吸嘴，龙门架上还安装有若干下压座，下压座上安装有直线电机，且直线电机的输出轴竖直向下，直线电机的输出轴端部和压杆相连，且压杆能与吸嘴相配合，台面上还通过可拆卸的方式安装有校准座，校准座上具有压力传感器，且任意一个吸嘴均能位于压力传感器相接触。

所述工作架下部具有基板，基板上安装有工控机和直线电机驱动器。

所述龙门架上还安装有用于人机交互的触控屏。

所述台面为加厚型台面。

所述具体操作步骤如下：

S1、将带有压力传感器的校准座安装在工作架的台面上；

S2、首次运行，控制固定于下压座上的直线电机直接带动压杆下压，使吸嘴支架上的吸嘴向下，吸嘴压到压力传感器后，根据压力传感器的压力数值获得精确的压力值；

S3、通过工控机控制直线电机驱动器的输出电流大小，调整直线电机的下压压力，当压力值达到设定值后，工控机自动记录直线电机驱动器的输出电流当前数值；

S4、通过转塔带动吸嘴支架旋转，切换到下一吸嘴，重复以上步骤，依次得到不同吸嘴在当前校准座位置时所需直线电机驱动器的输出电流数值，完成各吸嘴在此处达到所需压力时对应的输出电流数值，在每一吸嘴运动到校准座位置时，通过调控直线电机驱动器的输出电流大小，控制吸嘴得到所需的稳定压力，即使每个吸嘴在此处下压时获得同一压力；

S5、撤出校准座。

与现有技术相比，本压力补偿装置及方法具有该优点：

其一，精度高；该装置通过压力传感器反馈计算吸嘴压力，结合直线电机输出的电流大小的控制，使吸嘴压力更精准。

其二，兼容性强；该装置中通过压力传感器反馈，可设定不同下压压力，以兼容不同类型的测试座。

其三，补偿方便；通过工控机程序控制，可自动完成每个吸嘴的压力校准，保存直线电机电流参数，供实际生产。

其四，功能强大；触控屏上预设标准高度，可对产品叠料进行报警。

其五，使用稳定；本装置中主要结构布置于台面上，通过龙门架固定有转塔和人机交互的触控屏，工控机和直线电机驱动器布置于台面下部；由于吸嘴下压时压力精度要求较高，通过加强工作架的刚性，台面加厚增重以减少整个装置运行时的震动干扰，同时，转塔部分的固定由普遍的悬臂结构改为龙门式，可减少吸嘴的抖动。

附图说明