[发明专利]一种用于真空镀膜机电子枪的电磁铁偏转结构

权利要求书

1.一种用于真空镀膜机电子枪的电磁铁偏转结构，其特征在于，包括电子枪主体和安装在电子枪主体上的电子枪枪头组件(16)，所述电子枪主体包括电子枪底座(1)，所述电子枪底座(1)上表面两端均设置有主极靴(12)，主极靴(12)上开设有主极靴孔(303)，所述电子枪底座(1)上表面位于主极靴(12)之间设置有电磁铁组件，所述电磁铁组件包括铁芯(201)，铁芯(201)上绕设有通电线圈(202)，铁芯(201)的一端开设有过线槽孔(204)，所述通电线圈(202)的引出线(203)穿过过线槽孔(204)，所述铁芯(201)两端开设有四个固定螺孔(205)，还设置有固定螺钉(401)，所述固定螺钉(401)穿过主极靴(12)与铁芯(201)两端的固定螺孔(205)螺纹连接，所述引出线(203)依次穿过主极靴孔(303)和固定在主极靴(12)上的引出线锁紧螺母(302)并通过柔性波纹管和电气接插件引出到真空室外与精密恒流源电连接，所述主极靴(12)上通过固定螺丝(403)安装有电磁铁防护罩(2)。

2.按照权利要求1所述的一种用于真空镀膜机电子枪的电磁铁偏转结构，其特征在于，所述主极靴(12)两侧还设置有电磁铁过线护罩(301)，所述电磁铁过线护罩(301)通过紧固螺钉(402)固定于主极靴(12)上。

3.按照权利要求1所述的一种用于真空镀膜机电子枪的电磁铁偏转结构，其特征在于，所述铁芯(201)为高导磁材料铁芯。

4.按照权利要求1所述的一种用于真空镀膜机电子枪的电磁铁偏转结构，其特征在于，所述通电线圈(202)为耐高温通电线圈。

5.按照权利要求1所述的一种用于真空镀膜机电子枪的电磁铁偏转结构，其特征在于，所述电子枪主体还包括设置在电子枪底座(1)两侧的水孔堵板(11)，电子枪底座(1)上还安装有进出水头(8)，所述主极靴(12)上表面安装有第三辅助极靴(15)，第三辅助极靴(15)之间安装有第一辅助极靴(13)，所述第三辅助极靴(15)上还安装有第二辅助极靴(14)，第一辅助极靴(13)上还安装有枪头盖板(4)，主极靴(12)远离电磁铁组件一侧安装有冷却线包盒(3)，冷却线包盒(3)上安装有XY扫描线圈固定支架(5)，所述XY扫描线圈固定支架(5)上还安装有XY线圈出线锁紧螺母(10)，所述主极靴(12)上位于冷却线包盒(3)下侧设置有枪头防污罩(7)，所述第三辅助极靴(13)上还安装有防污盖板(6)，所述主极靴(12)内侧设置有水孔堵头(9)。