[发明专利]一种用于真空镀膜机电子枪的电磁铁偏转结构

说明书

本发明公开了一种用于真空镀膜机电子枪的电磁铁偏转结构，属于真空镀膜机设备技术领域，目的在于解决现有设备难以精确调节电子束位置及位置漂移的问题。其包括电子枪主体和电子枪枪头组件，电子枪主体包括电子枪底座，电子枪底座上设有主极靴，电子枪底座上设有电磁铁组件，电磁铁组件包括铁芯，铁芯上绕设有通电线圈，铁芯上设有过线槽孔，通电线圈的引出线过线穿过过线槽孔，铁芯两端开设有固定螺孔，还设有固定螺钉，固定螺钉穿过主极靴与固定螺孔螺纹连接，引出线依次穿过主极靴孔和引出线锁紧螺母并通过柔性波纹管和电气接插件引出到真空室外与精密恒流源电连接，主极靴上安装有电磁铁防护罩。本发明适用于真空镀膜机电子枪。

技术领域

本发明属于真空镀膜机设备技术领域，具体涉及一种用于真空镀膜机电子枪的电磁铁偏转结构。

背景技术

实随着科学技术的飞速发展，真空镀膜的技术已经得到普遍应用，在真空镀制薄膜时，真空腔体内电子枪产生的热电子束轰击蒸发材料的位置应该是长期稳定不变，特别用于高端光学镀膜时尤为重要，也是保证被制产品的重复性的重要因素。传统的方法是在电磁铁同一位置上安装一块汝铁硼永磁铁来实现控制热电子束前后偏转的位置，其结果是由于永磁本身材料的特性，自身会受外界温度的影响而改变及磁力的大小，而电子枪本身就工作在一个高热的环境中，因此，热电子束的位置也会随之发生热“漂移”现象是必然的，另外永久磁铁控制热电子束的位置是靠增减短磁片来控制磁场力的大小完成，故此要精确调节电子束的位置尤为困难。

发明内容

本发明的目的在于：提供一种用于真空镀膜机电子枪的电磁铁偏转结构，解决现有设备难以精确调节电子束位置的问题及位置漂移的问题。

本发明采用的技术方案如下：

一种用于真空镀膜机电子枪的电磁铁偏转结构，包括电子枪主体和安装在电子枪主体上的电子枪枪头组件，所述电子枪主体包括电子枪底座，所述电子枪底座上表面两端均设置有主极靴，主极靴上开设有主极靴孔，所述电子枪底座上表面位于主极靴之间设置有电磁铁组件，所述电磁铁组件包括铁芯，铁芯上绕设有通电线圈，铁芯的一端开设有过线槽孔，所述通电线圈的引出线穿过过线槽孔，所述铁芯两端开设有四个固定螺孔，还设置有固定螺钉，所述固定螺钉穿过主极靴与铁芯两端的固定螺孔螺纹连接，所述引出线依次穿过主极靴孔和固定在主极靴上的引出线锁紧螺母并通过柔性波纹管和电气接插件引出到真空室外与精密恒流源电连接，所述主极靴上通过固定螺丝安装有电磁铁防护罩。

进一步地，所述主极靴两侧还设置有电磁铁过线护罩，所述电磁铁过线护罩通过紧固螺钉固定于主极靴上。

进一步地，所述铁芯为高导磁材料铁芯。

进一步地，所述通电线圈为耐高温通电线圈。

进一步地，所述电子枪主体还包括设置在电子枪底座两侧的水孔堵板，电子枪底座上还安装有进出水头，所述主极靴上表面安装有第三辅助极靴，第三辅助极靴之间安装有第一辅助极靴，所述第三辅助极靴上还安装有第二辅助极靴，第一辅助极靴上还安装有枪头盖板，主极靴远离电磁铁组件一侧安装有冷却线包盒，冷却线包盒上安装有XY扫描线圈固定支架，所述XY扫描线圈固定支架上还安装有XY线圈出线锁紧螺母，所述主极靴上位于冷却线包盒下侧设置有枪头防污罩，所述第三辅助极靴上还安装有防污盖板，所述主极靴内侧设置有水孔堵头。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明的有益效果是：