[发明专利]一种分子泵双层防护网及具有其的分子泵

权利要求书

1.一种分子泵防护网，其特征在于，包括：

支撑环(1)；

网本体(2)，安装在所述支撑环(1)内侧，所述网本体(2)呈锥形；

一对连接法兰(3)，分别设于所述支撑环(1)两侧，所述连接法兰(3)的轴线与所述支撑环(1)的轴线重合，一对所述连接法兰(3)上还安装有锁紧机构，以将所述支撑环(1)和一对所述连接法兰(3)可拆卸连接。

2.根据权利要求1所述的分子泵防护网，其特征在于，所述网本体(2)层叠设置有至少两层。

3.根据权利要求1或2所述的分子泵防护网，其特征在于，所述支撑环(1)的内侧面间隔设置有多个安装口(4)，所述网本体(2)外边缘间隔设置有多个安装凸起(5)，所述安装凸起(5)与所述安装口(4)配合卡接。

4.根据权利要求3所述的分子泵防护网，其特征在于，所述安装凸起(5)与所述安装口(4)之间焊接固定。

5.根据权利要求1至4任一项所述的分子泵防护网，其特征在于，所述支撑环(1)上设置有异物暂存槽(6)，所述异物暂存槽(6)沿所述支撑环(1)的周向连续设置，所述异物暂存槽(6)朝向所述网本体(2)凸起的一侧设置。

6.根据权利要求1至5任一项所述的分子泵防护网，其特征在于，还包括，所述支撑环(1)的一侧设置有密封槽(7)，所述密封槽(7)内安装有密封圈(8)，所述密封圈(8)与所述连接法兰(3)抵接。

7.根据权利要求1至6任一项所述的分子泵防护网，其特征在于，所述锁紧机构包括第一卡紧件、第二卡紧件和锁定件，一对所述连接法兰(3)卡接设置在所述第一卡紧件与所述第二卡紧件之间，所述第二卡紧件贯穿所述第一卡紧件后通过所述锁定件锁紧固定。

8.根据权利要求7所述的分子泵防护网，其特征在于，所述锁定件为锁紧螺母，所述第二卡紧件贯穿所述第一卡紧件的一端设置有锁紧螺纹，所述锁紧螺母与所述第二卡紧件螺纹配合以将所述第二卡紧件锁定。

9.根据权利要求7或8所述的分子泵防护网，其特征在于，所述第一卡紧件上设有第一卡爪(11)，所述第二卡紧件上设有第二卡爪(12)，两个所述连接法兰(3)设于所述第一卡爪(11)与所述第二卡爪(12)之间，所述第一卡爪(11)与其中一个所述连接法兰(3)抵接，所述第二卡爪(12)与另一所述连接法兰(3)抵接，所述连接法兰(3)上设有连接槽(13)，所述第一卡爪(11)和所述第二卡爪(12)均与对应的所述连接槽(13)卡接配合。

10.一种分子泵，其特征在于，具有权利要求1至9任一项所述的分子泵防护网。