[发明专利]一种分子泵双层防护网及具有其的分子泵

说明书

本发明涉及分子泵技术领域，具体涉及一种分子泵双层防护网及具有其的分子泵。分子泵防护网，包括：支撑环；网本体，层叠设置有两层，安装在支撑环内侧，网本体呈锥形；一对连接法兰，分别设于支撑环两侧，连接法兰的轴线与支撑环的轴线重合，一对连接法兰上还安装有锁紧机构，以将支撑环和一对连接法兰可拆卸连接。当分子泵工作对客户腔体进行抽气且客户腔体一侧的杂质颗粒较多时，通过网本体能够将杂质颗粒隔绝到客户腔体一侧，锥形面的网本体上网眼的整体面积更大，在分子泵工作时能够弥补网本体对分子泵入口阻挡带来的抽速损失。使得分子泵在杂物颗粒较多的恶劣环境下仍能够稳定运行。

技术领域

本发明涉及分子泵技术领域，具体涉及一种分子泵双层防护网及具有其的分子泵。

背景技术

分子泵是一种高真空获得设备，被广泛应用于真空行业。由于不同行业的工作需求，分子泵的工作工况将会有很大的差别。分子泵是高速运转的精密机械，其中的配合间隙很小，如果工作过程中有外部异物颗粒进入，会导致泵工作异常甚至碎泵的严重故障。因此对于工作工况可能有颗粒的真空行业，在使用分子泵前，通常会在分子泵和工作腔室之间安装防护网。目前市场上的分子泵防护网大多是带有网眼(六边形网眼或正方形网眼)的单层平面结构。

在安装防护网后，虽然可以在一定程度上防止异物损伤分子泵内的零部件，但是由于防护网的筋面占据了分子泵入口的有效空间，会造成分子泵的抽速降低，导致分子泵能够抽取到的最大真空度所需时间增加，使得分子泵的工作效率降低，为了减小对分子泵抽气性能的影响，网眼大小一般不会设计的太小太密，致使防护网对异物颗粒的防护能力有限，在粉尘颗粒较多的工况下运行时对杂质颗粒的阻挡作用较差，导致粉尘杂质颗粒进入到分子泵中导致分子泵无法正常运行。

发明内容

因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中的分子泵在粉尘颗粒较多的环境下性能较差的缺陷，从而提供一种分子泵双层防护网及具有其的分子泵。

为了解决上述技术问题，本发明提供一种分子泵防护网，包括：

支撑环；

网本体，安装在支撑环内侧，网本体呈锥形；

一对连接法兰，分别设于支撑环两侧，连接法兰的轴线与支撑环的轴线重合，一对连接法兰上还安装有锁紧机构，以将支撑环和一对连接法兰可拆卸连接。

可选地，网本体层叠设置有至少两层。

可选地，支撑环的内侧面间隔设置有多个安装口，网本体外边缘间隔设置有多个安装凸起，安装凸起与安装口配合卡接。

可选地，安装凸起与安装口之间焊接固定。

可选地，支撑环上设置有异物暂存槽，异物暂存槽沿支撑环的周向连续设置，异物暂存槽朝向网本体凸起的一侧设置。

可选地，还包括，支撑环的一侧设置有密封槽，密封槽内安装有密封圈，密封圈与连接法兰抵接。

可选地，锁紧机构包括第一卡紧件、第二卡紧件和锁定件，一对连接法兰卡接设置在第一卡紧件与第二卡紧件之间，第二卡紧件贯穿第一卡紧件后通过锁定件锁紧固定。

可选地，锁定件为锁紧螺母，第二卡紧件贯穿第一卡紧件的一端设置有锁紧螺纹，锁紧螺母与所述第二卡紧件螺纹配合以将所述第二卡紧件锁定。

可选地，第一卡紧件上设有第一卡爪，第二卡紧件上设有第二卡爪，两个连接法兰设于第一卡爪与第二卡爪之间，第一卡爪与其中一个连接法兰抵接，第二卡爪与另一连接法兰抵接，连接法兰上设有连接槽，第一卡爪和第二卡爪均与对应的连接槽卡接配合。

本发明还提供一种分子泵，具有本发明所述的分子泵防护网。

本发明技术方案，具有如下优点：