[发明专利]光刻胶喷嘴器件和光刻胶供应系统

权利要求书

1.一种用于涂覆装置的光刻胶喷嘴器件，包括：

L形保持框架，包括：

第一壁，在垂直方向上延伸并且具有限定第一厚度的外表面和相对的内表面；

第二壁，在水平方向上延伸并且具有限定第二厚度的外表面和相对的内表面；

管，包括第一部分、连接至所述第一部分的曲线部分和连接至所述曲线部分的第二部分，其中，所述管的曲线部分由透光材料制成并且被配置为允许目视检查；以及

喷嘴，连接至所述第二部分；

其中，所述管的第一部分横向穿过所述第一壁的第一厚度，所述管的第二部分横向穿过所述第二壁的第二厚度，并且所述曲线部分设置在由所述L形保持框架的第一壁的内表面和第二壁的内表面之间包围的空间限定的构成目视检查区的接收槽中，并且所述曲线部分由所述L形保持框架的第一壁和第二壁支撑，

其中，所述管的曲线部分相对于所述L形保持框架未被覆盖并且设置在所述涂覆装置的外部，并且其中，所述管的曲线部分沿着圆形路径延伸，并且其中，所述曲线部分从具有所述圆形路径的第一切线的第一端延伸至并且终止于具有所述圆形路径的第二切线的第二端，与所述第一端连接并且接触的所述第一部分和与所述第二端连接并且接触的第二部分分别由所述L形保持框架的第一壁和第二壁覆盖并且设置在所述涂覆装置的内部。

2.根据权利要求1所述的光刻胶喷嘴器件，其中，所述曲线部分具有直径和比所述直径长2.5至15倍的弧长度。

3.根据权利要求1所述的光刻胶喷嘴器件，其中，所述第一部分沿着水平方向延伸，而所述第二部分沿着垂直方向延伸。

4.根据权利要求1所述的光刻胶喷嘴器件，其中，所述喷嘴设置在所述第二部分的底面上。

5.根据权利要求1所述的光刻胶喷嘴器件，其中，所述第一部分沿着所述第一切线延伸。

6.根据权利要求4所述的光刻胶喷嘴器件，其中，所述第二部分沿着所述第二切线延伸。

7.一种用于涂覆装置的光刻胶喷嘴器件，包括：

保持框架，具有接收槽，位于所述涂覆装置中；

管，设置在所述保持框架上，包括第一部分、连接至所述第一部分且位于所述接收槽中的曲线部分和连接至所述曲线部分的第二部分，其中，所述管的曲线部分由透光材料制成并且被配置为允许目视检查，并且其中，所述保持框架包括第一壁和连接至所述第一壁的第二壁，其中，所述第一壁和所述第二壁之间包围的空间形成构成目视检查区的所述接收槽，所述第一部分穿过所述第一壁，且所述第二部分穿过所述第二壁，其中，所述第一部分相对于所述第一壁的相应平面成直角，所述第二部分相对于所述第二壁的相应平面成直角，并且所述曲线部分由所述保持框架的第一壁和第二壁支撑；以及

喷嘴，连接至所述第二部分，

其中，所述曲线部分沿着圆形路径延伸，并且其中，所述管的曲线部分相对于所述保持框架未被覆盖并且设置在所述涂覆装置的外部，其中，所述曲线部分从具有所述圆形路径的第一切线的所述第一端延伸至并且终止于具有所述圆形路径的第二切线的所述第二端，与所述第一端连接并且接触的所述第一部分和与所述第二端连接并且接触的第二部分分别由所述L形保持框架的第一壁和第二壁覆盖并且设置在所述涂覆装置的内部。

8.根据权利要求7所述的光刻胶喷嘴器件，其中，所述第一壁垂直于所述第二壁。

9.根据权利要求7所述的光刻胶喷嘴器件，其中，所述曲线部分具有直径和比所述直径长2.5倍至15倍的弧长度。

10.一种用于涂覆装置的光刻胶供应系统，包括：

L形保持框架，包括：

第一壁，在垂直方向上延伸并且具有限定第一厚度的外表面和相对的内表面；

第二壁，在水平方向上延伸并且具有限定第二厚度的外表面和相对的内表面；

缓冲罐，容纳光刻胶液体；

泵，与所述缓冲罐连接，且接收所述光刻胶液体；

管，包含与所述泵连接的第一部分，连接至所述第一部分的曲线部分和连接至所述曲线部分的第二部分，其中，所述管的曲线部分由透光材料制成并且被配置为允许目视检查；以及

喷嘴，连接至所述第二部分；

其中，所述泵将所述光刻胶液体通过所述管输送至所述喷嘴；

其中，所述管的第一部分横向穿过所述第一壁的第一厚度，其中，所述管的第二部分横向穿过所述第二壁的第二厚度，并且所述曲线部分设置在由所述L形保持框架的第一壁的内表面和第二壁的内表面之间包围的空间限定的构成目视检查区的接收槽中，以及所述曲线部分由所述L形保持框架的第一壁和第二壁支撑，

其中，所述管的曲线部分相对于所述L形保持框架未被覆盖并且设置在所述涂覆装置的外部，并且其中，所述管的曲线部分沿着圆形路径延伸，并且其中，所述曲线部分从具有所述圆形路径的第一切线的第一端延伸至并且终止于具有所述圆形路径的第二切线的第二端，与所述第一端连接并且接触的所述第一部分和与所述第二端连接并且接触的第二部分分别由所述L形保持框架的第一壁和第二壁覆盖并且设置在所述涂覆装置的内部。