[发明专利]异常制品数据分析方法及系统

权利要求书

1.一种异常制品数据分析方法，其特征在于，包括：

步骤一：根据不同的定义规则设定不同的异常制品组，每个异常制品组包括若干异常批次，每个异常批次包括若干异常晶圆；

步骤二：设定不同的生产数据，包括所述异常制品组的异常类型、所述异常制品组的中各个异常批次的批次号、工艺站点编号、所述异常晶圆的片号以及对应所述片号的异常晶圆的异常原因；

步骤三：将所述异常制品组需要监控及分析的生产数据划三种类型，包括良率数据、在线量测数据和电性数据，其中，每种生产数据类型包括工艺流程中所有在线量测数据，所有电性测试项目数据和所有良率测试项目数据；

步骤四：通过数据链接的方式将所述异常制品组中的生产数据按照所述步骤三的数据类型显示；

步骤五：根据某正常批次的晶圆得到一基准制品组，获取基准制品组的生产数据的中值和生产数据的标准偏差；计算分析异常制品组的生产数据的中值和生产数据的标准偏差，并与基准制品组相比较。

2.根据权利要求1所述的异常制品数据分析方法，其特征在于，所述异常品制品数据分析方法还包括：通过对比图显示所述步骤五中的基准制品组的生产数据和异常制品组的生产数据。

3.根据权利要求2所述的异常制品数据分析方法，其特征在于，所述对比图的横轴表示异常晶圆的片号以及正常批次的晶圆的片号，纵轴表示异常制品组的生产数据和基准制品组的生产数据。

4.根据权利要求1所述的异常制品数据分析方法，其特征在于，所述异常品数据分析方法还包括：设定一显示界面，用于输入记录所述步骤二中的异常类型、批次号、工艺站点编号、片号以及异常原因。

5.根据权利要求1所述的异常制品数据分析方法，其特征在于，所述步骤五中，采用如下方式计算异常制品组的生产数据的中值偏移和生产数据的标准差偏移；

生产数据的中值偏移＝(异常制品组的生产数据中值－基准制品组的生产数据的中值)/基准制品组的生产数据的标准偏差；

生产数据的标准偏差偏移＝(异常制品组的生产数据的标准偏差－基准制品组的生产数据的标准偏差)/基准制品组的生产数据的标准偏差。

6.一种异常制品数据分析系统，其特征在于，包括：

异常定义模块，其用于根据不同的定义规则设定不同的异常制品组，每个异常制品组包括若干异常批次，每个异常批次包括若干异常晶圆；

数据设定模块，其用于设定不同的生产数据，包括所述异常制品组的异常类型、所述异常制品组的中各个异常批次的批次号、工艺站点编号、所述异常晶圆的片号以及对应所述片号的异常晶圆的异常原因；

数据划分模块，其用于将所述异常制品组需要监控及分析的生产数据划三种类型，包括良率数据、在线量测数据和电性数据，其中，每种生产数据类型包括工艺流程中所有在线量测数据，所有电性测试项目数据和所有良率测试项目数据；

链接显示模块，其用于通过数据链接的方式将所述异常制品组中的生产数据按照所述数据划分模块中的数据类型显示；

计算分析模块，其用于根据某正常批次的晶圆得到一基准制品组，获取基准制品组的生产数据的中值和生产数据的标准偏差；计算分析异常制品组的生产数据的中值和生产数据的标准偏差，并与基准制品组相比较。

7.根据权利要求6所述的异常制品数据分析系统，其特征在于，所述异常制品数据分析系统还包括对比显示模块，其用于通过对比图显示计算分析模块中的基准制品组的生产数据和异常制品组的生产数据。

8.根据权利要求7所述的异常制品数据分析系统，其特征在于，所述对比图的横轴表示异常晶圆的片号以及正常批次的晶圆的片号，纵轴表示异常制品组的生产数据和基准制品组的生产数据。

9.根据权利要求6所述的异常制品数据分析系统，其特征在于，所述异常制品数据分析系统还包括数据输入模块，其用于设定一显示界面，用于输入记录所述数据设定模块中的异常类型、批次号、工艺站点编号、片号以及异常原因。

10.根据权利要求6所述的异常制品数据分析系统，所述计算分析模块用于根据如下方式计算异常制品组的生产数据的中值偏移和生产数据的标准差偏移；

生产数据的中值偏移＝(异常制品组的生产数据中值－基准制品组的生产数据的中值)/基准制品组的生产数据的标准偏差；

生产数据的标准偏差偏移＝(异常制品组的生产数据的标准偏差－基准制品组的生产数据的标准偏差)/基准制品组的生产数据的标准偏差。