[发明专利]质量流量控制器及其流量调节机构

权利要求书

1.一种流量调节机构，设置于质量流量控制器内，用于控制质量流量控制器的流量及通断，其特征在于，包括：阀座组件、阀体组件及驱动组件；

所述阀座组件包括有阀座及阀口，所述阀座内形成有流体通道，并且所述流体通道具有径向开口，所述阀口的底端与所述径向开口密封连接；

所述阀体组件包括有阀体及阀芯，所述阀体设置于所述阀座上，所述阀体的一端开设有滑动槽，所述滑动槽的开口与所述阀口连通；所述阀芯可滑动地设置于所述滑动槽内，用于调节所述阀口的开合度；

所述驱动组件包括驱动部及传动杆，所述驱动部设置于所述阀体的顶部，所述传动杆的两端分别与所述驱动部及所述阀芯连接，所述驱动部通过所述传动杆带动所述阀芯在所述滑动槽内升降，以调节所述阀口的开合度。

2.如权利要求1所述的流量调节机构，其特征在于，所述驱动组件还包括支座及连接部件，所述支座的底端开设有连接槽，所述支座通过所述连接槽盖合于所述阀体的顶端，并且与所述阀体的顶端周壁连接；所述驱动部通过多个所述连接部件设置于所述支座上。

3.如权利要求2所述的流量调节机构，其特征在于，所述传动杆滑动穿设于所述支座及所述阀体内，所述传动杆的顶端设置有螺纹孔，所述驱动部的输出轴上设置有螺纹，所述传动杆与所述输出轴螺纹连接，且所述输出轴的端部与所述螺纹孔的底部之间具有间隔，所述传动杆的底端与所述阀芯固定连接，所述传动杆可将所述驱动部的旋转动作转化为升降动作，以带动所述阀芯在所述滑动槽内升降。

4.如权利要求3所述的流量调节机构，其特征在于，所述连接部件包括紧固件及支撑柱，所述紧固件穿过所述驱动部的连接板后与所述支座连接；所述支撑柱套设于所述紧固件上，并且位于所述连接板及所述支座之间，用于使所述连接板与所述支座之间形成有间隔。

5.如权利要求4所述的流量调节机构，其特征在于，所述传动杆的顶端在升降过程中始终位于所述间隔内。

6.如权利要求3所述的流量调节机构，其特征在于，所述阀体组件还包括有顶紧件，所述阀芯的顶端开设有沿轴向延伸的连接孔，用于容置所述传动杆的底端；所述阀芯的外周开设有沿径向延伸的限位孔，所述顶紧件设置于所述限位孔内，并且端部顶抵所述传动杆的外周，用于将传动杆压紧于所述连接孔内。

7.如权利要求3所述的流量调节机构，其特征在于，所述阀体内还设置有与所述滑动槽连通的滑动孔，所述传动杆滑动穿设于所述滑动孔内，并且通过一密封结构与所述滑动孔密封。

8.如权利要求7所述的流量调节机构，其特征在于，所述密封结构包括密封槽及柔性密封件，所述密封槽沿所述滑动孔的周向延伸设置，所述柔性密封件设置于所述密封槽内，并且部分裸露于所述密封槽外。

9.如权利要求1所述的流量调节机构，其特征在于，所述驱动部包括有伺服电机，并且所述驱动部的位移精度为小于0.001毫米。

10.一种质量流量控制器，其特征在于，包括：底座、传感器、主控电路及如权利要求1至9的任一所述的流量调节机构；

所述底座中设置有流道，所述流道两端安装有进气接头及出气接头，所述传感器与所述流体通道连通，并且靠近所述进气接头设置，用于检测所述流体通道内的气流量及气压值；所述流量调节机构的流体通道与所述流道连通，并且靠近所述出气接头设置；

所述主控电路与所述传感器及所述流量调节机构通信连接，用于根据所述传感器检测到的气流量和/或气压值，控制所述流量调节机构调节所述流道中的流量。