[发明专利]质量流量控制器及其流量调节机构

说明书

本申请实施例提供了一种质量流量控制器及其流量调节机构。该流量调节机构包括：阀座组件、阀体组件及驱动组件；阀座组件包括有阀座及阀口，阀座内形成有流体通道，并且流体通道具有径向开口，阀口的底端与径向开口密封连接；阀体组件包括有阀体及阀芯，阀体设置于阀座上，阀体的一端开设有滑动槽，滑动槽的开口与阀口连通；阀芯可滑动地设置于滑动槽内，用于调节阀口的开合度；驱动组件包括驱动部及传动杆，驱动部设置于阀体的顶部，传动杆的两端分别与驱动部及阀芯连接，驱动部通过传动杆带动阀芯在滑动槽内升降，以调节阀口的开合度。本申请实施例实现了有效降低加工制造的难度，并且还能满足质量流量控制器的快速及精准响应的需求。

技术领域

本申请涉及流量控制技术领域，具体而言，本申请涉及一种质量流量控制器及其流量调节机构。

背景技术

目前，气体的质量流量控制器(Mass Flow Controller，MFC)用于对气体质量流量进行精密测量及控制。在半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括半导体工艺设备，例如应用于扩散、氧化、外延、化学气相沉积、等离子刻蚀、溅射及离子注入等工艺中；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。

现有技术中的质量流量控制器主要采用电磁阀，以实现对质量流量控制器的流量及通断进行控制。电磁阀里有密闭的腔，腔中间是阀芯。通电时，电磁阀线圈产生电磁力把阀芯从阀口上提起，阀口开启；断电时，电磁力消失，阀芯上的弹簧片把阀芯压在阀口上，阀门关闭。但是电磁阀在生产制造过程中受多种因素影响，同时不同客户对质量流量控制器的需求差异很大，使得对电磁阀的调节成为阻碍产能的重要因素；进一步的，由于质量流量控制器需要在一定的稳定的压力下工作，因此客户在使用质量流量控制器时，需要在供气站之间设置有多个减压器，这就造成客户需要单独购买、安装减压器，从而造成现有的质量流量控制器适用性较差。在电磁阀的装配及使用过程中，由于弹簧片受力形变造成的受力不均而造成电磁阀产生内漏，从而造成密封效果较差，以及造成应用质量流量控制器的设备停工。

发明内容

本申请针对现有方式的缺点，提出一种质量流量控制器及其流量调节机构，用以解决现有技术存在产能较低、密封效果较差或适用性较差的技术问题。

第一个方面，本申请实施例提供了一种流量调节机构，设置于质量流量控制器内，用于控制质量流量控制器的流量及通断，包括：阀座组件、阀体组件及驱动组件；所述阀座组件包括有阀座及阀口，所述阀座内形成有流体通道，并且所述流体通道具有径向开口，所述阀口的底端与所述径向开口密封连接；所述阀体组件包括有阀体及阀芯，所述阀体设置于所述阀座上，所述阀体的一端开设有滑动槽，所述滑动槽的开口与所述阀口连通；所述阀芯可滑动地设置于所述滑动槽内，用于调节所述阀口的开合度；所述驱动组件包括驱动部及传动杆，所述驱动部设置于所述阀体的顶部，所述传动杆的两端分别与所述驱动部及所述阀芯连接，所述驱动部通过所述传动杆带动所述阀芯在所述滑动槽内升降，以调节所述阀口的开合度。

于本申请的一实施例中，所述驱动组件还包括支座及连接部件，所述支座的底端开设有连接槽，所述支座通过所述连接槽盖合于所述阀体的顶端，并且与所述阀体的顶端周壁连接；所述驱动部通过多个所述连接部件设置于所述支座上。

于本申请的一实施例中，所述传动杆滑动穿设于所述支座及阀体内，所述传动杆的顶端设置有螺纹孔，所述驱动部的输出轴上设置有螺纹，所述传动杆与所述输出轴螺纹连接，且所述输出轴的端部与所述螺纹孔的底部之间具有间隔，所述传动杆的底端与所述阀芯固定连接，所述传动杆可将所述驱动部的旋转动作转化为升降动作，以带动所述阀芯在所述滑动槽内升降。

于本申请的一实施例中，所述连接部件包括紧固件及支撑柱，所述紧固件穿过所述驱动部的连接板后与所述支座连接；所述支撑柱套设于所述紧固件上，并且位于所述连接板及所述支座之间，用于使所述连接板与所述支座之间形成有间隔。