[发明专利]一种晶圆粘片机抓取装置

权利要求书

1.一种晶圆粘片机抓取装置，包括固定座(1)、连接板(2)和连接爪(4)，其特征在于：所述连接板(2)的内部设置有拉杆(8)，所述拉杆(8)的端部位于连接板(2)的下方设置有吸附装置(7)，所述吸附装置(7)包括第一固定板(701)、伸缩杆(702)、吸盘(703)、电动推杆(704)、第二固定板(705)和第三固定板(706)，所述第一固定板(701)位于拉杆(8)的端部，所述伸缩杆(702)位于第一固定板(701)的下方，所述吸盘(703)位于伸缩杆(702)的端部，所述第二固定板(705)设置于伸缩杆(702)的伸缩内杆的一侧，所述第三固定板(706)设置于伸缩杆(702)的伸缩外杆的一侧，所述电动推杆(704)设置于第二固定板(705)和第三固定板(706)上，所述连接板(2)的边缘处设置有紧固装置(3)，且紧固装置(3)与连接爪(4)相连接，所述紧固装置(3)包括边侧板(301)、卡条(302)、卡紧槽(303)、配合齿条(304)、连接块(305)和连接销(306)，所述连接块(305)位于连接板(2)的侧壁，所述边侧板(301)焊接在连接板(2)上，所述边侧板(301)的侧壁开设有卡紧槽(303)，所述卡条(302)设置于卡紧槽(303)之间，所述配合齿条(304)的端部设置于连接爪(4)的端部，且配合齿条(304)和连接块(305)的内部设置有连接销(306)，所述连接爪(4)的端部设置有压紧装置(9)，所述压紧装置(9)包括边侧块(901)、转动槽(902)、楔形块(903)、转动柱(904)、锁紧销(905)、压紧片(906)、扭力弹簧(907)和中间销(908)，所述边侧块(901)、楔形块(903)、转动柱(904)和转动块(909)设置于连接爪(4)的端部，且压紧片(906)设置于转动柱(904)上，所述中间销(908)设置于转动柱(904)上，且扭力弹簧(907)位于边侧块(901)和转动柱(904)之间。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆粘片机抓取装置，其特征在于：所述卡条(302)与边侧板(301)的卡紧槽(303)过盈配合，所述卡条(302)与配合齿条(304)相啮合，所述配合齿条(304)通过连接销(306)与连接块(305)相配合。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆粘片机抓取装置，其特征在于：所述卡条(302)和配合齿条(304)的数量均为三个，且卡条(302)和配合齿条(304)均匀布置在连接板(2)上。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆粘片机抓取装置，其特征在于：所述电动推杆(704)贯穿第二固定板(705)的内部与第三固定板(706)相连接，所述伸缩杆(702)的底端焊接在第一固定板(701)上，所述吸盘(703)沿着竖直方向移动。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆粘片机抓取装置，其特征在于：所述转动槽(902)设置于连接爪(4)的端部，且边侧块(901)位于转动槽(902)的两端，所述转动柱(904)位于转动槽(902)中，所述中间销(908)贯穿转动柱(904)的中间，所述楔形块(903)和压紧片(906)之间相对齐，且楔形块(903)和压紧片(906)之间留有一条缝隙，所述转动块(909)上开设有卡紧齿，且楔形块(903)位于转动块(909)上，所述锁紧销(905)位于转动柱(904)的一端，且锁紧销(905)贯穿其中一个边侧块(901)中。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆粘片机抓取装置，其特征在于：所述转动柱(904)通过中间销(908)与边侧块(901)转动连接，所述扭力弹簧(907)的一端与边侧块(901)相连接，且扭力弹簧(907)的另一端与转动柱(904)相连接，所述楔形块(903)焊接在转动块(909)上，所述压紧装置(9)的数量为三组，且三个压紧装置(9)均位于三个连接爪(4)的端部。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆粘片机抓取装置，其特征在于：所述连接爪(4)上设置有伸缩弹簧(5)和连接杆(6)，所述连接杆(6)的底端通过活动销与连接爪(4)和吸附装置(7)相连接。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆粘片机抓取装置，其特征在于：所述拉杆(8)与固定座(1)和连接板(2)的内部滑动连接。