[发明专利]一种光刻机光源发生装置

权利要求书

1.一种光刻机光源发生装置，其特征在于，包括：

底板(1)，所述底板(1)中部开设有通孔(2)，所述底板(1)表面等距固定有固定柱(3)，三个所述固定柱(3)顶部固定有顶板(4)；

安装筒(5)，所述安装筒(5)固定在顶板(4)中部，且安装筒(5)顶部贯穿顶板(4)；

激光源(6)，所述激光源(6)插接在安装筒(5)内壁，且激光源(6)与顶板(4)固定连接；

调节镜筒(7)，所述调节镜筒(7)套设在安装筒(5)外侧下端，所述安装筒(5)外侧下端等距开设有弧形槽(71)，所述调节镜筒(7)内壁等距固定有拨柱(72)，且拨柱(72)与弧形槽(71)内壁滑动连接，所述调节镜筒(7)内壁底部固定有聚光镜片(73)，所述调节镜筒(7)外侧等距固定有驱动齿(74)；

连接驱动机构(8)，所述连接驱动机构(8)安装在顶板(4)下表面；

光源强度调节机构(9)，所述光源强度调节机构(9)安装在顶板(4)上表面靠近连接驱动机构(8)的一端，且调节镜筒(7)通过连接驱动机构(8)与光源强度调节机构(9)相连接；

所述光源强度调节机构(9)包括底座(91)、连接柱(92)、圆形槽(93)、电阻器(94)、L形导电柱(95)、导电槽(96)、转动壳(97)、导电头(98)和导电弹性柱(99)，所述顶板(4)顶部固定有底座(91)，所述底座(91)顶部固定有连接柱(92)，所述连接柱(92)外侧中部开设有圆形槽(93)，所述圆形槽(93)内壁镶嵌固定有若干电阻器(94)，所述电阻器(94)的正负电位分别固定有L形导电柱(95)，且两个L形导电柱(95)的端部朝向相反，所述底座(91)上表面同心镶嵌固定有两个导电槽(96)，且导电槽(96)与激光源(6)的电源电性连接，所述连接柱(92)外侧通过轴承转动连接有转动壳(97)，所述转动壳(97)内壁依次固定有两个导电头(98)，且两个导电头(98)分别与两个L形导电柱(95)的端部滑动接触，所述转动壳(97)底部对称固定有导电弹性柱(99)，且两个导电弹性柱(99)分别与两个导电头(98)电性连接，两个所述导电弹性柱(99)分别与两个导电槽(96)内壁滑动连接。

2.根据权利要求1所述的光刻机光源发生装置，其特征在于，所述电阻器(94)的电阻值依次增加。

3.根据权利要求1所述的光刻机光源发生装置，其特征在于，所述L形导电柱(95)的端部固定有导电弹片(10)，且导电弹片(10)呈梯形设置，所述导电头(98)底部设有圆角，且导电头(98)与导电弹片(10)表面滑动连接。

4.根据权利要求1所述的光刻机光源发生装置，其特征在于，所述连接驱动机构(8)包括L形板(81)、转轴(82)、第一齿轮(83)、第二齿轮(84)、齿轮环(85)、蜗轮(86)、固定座(87)、蜗杆(88)和电机(89)，所述顶板(4)下表面固定有L形板(81)，所述L形板(81)一端通过轴承转动连接有转轴(82)，且转轴(82)顶部通过轴承与顶板(4)转动连接，所述转轴(82)底部固定有第一齿轮(83)，所述第一齿轮(83)与驱动齿(74)啮合连接，所述转轴(82)顶部穿过顶板(4)固定有第二齿轮(84)，所述转动壳(97)外侧固定有齿轮环(85)，且第二齿轮(84)与齿轮环(85)啮合连接，所述转轴(82)上端位于顶板(4)下表面固定有蜗轮(86)，所述底板(1)下表面靠近蜗轮(86)的一端对称固定有固定座(87)，两个所述固定座(87)中部通过轴承转动连接有蜗杆(88)，且蜗杆(88)与蜗轮(86)啮合连接，一个所述固定座(87)一侧固定有电机(89)，且电机(89)的输出端与蜗杆(88)固定连接。

5.根据权利要求4所述的光刻机光源发生装置，其特征在于，所述转轴(82)下端固定有第三齿轮(11)，所述L形板(81)内壁固定有编码器(12)，所述编码器(12)的输出端固定有第四齿轮(13)，且第三齿轮(11)与第四齿轮(13)啮合连接。

6.根据权利要求1所述的光刻机光源发生装置，其特征在于，所述顶板(4)表面对称固定有安装板(14)，且安装板(14)表面开设有安装孔。