[发明专利]一种光刻机光源发生装置

说明书

本发明提供一种光刻机光源发生装置，包括：底板、安装筒、激光源、调节镜筒、连接驱动机构和光源强度调节机构，所述底板中部开设有通孔，所述底板表面等距固定有固定柱，三个所述固定柱顶部固定有顶板，所述安装筒固定在顶板中部，且安装筒顶部贯穿顶板，所述激光源插接在安装筒内壁，且激光源与顶板固定连接，所述调节镜筒套设在安装筒外侧下端，所述安装筒外侧下端等距开设有弧形槽，所述调节镜筒内壁等距固定有拨柱。本发明通过调节焦距，可调节激光器的聚光点直径，方便生产不同型号的芯片，且在对激光器的聚光点直径进行调节时，可同时调节激光器的功率，防止基板烧坏，且焦距和激光器的功率通过机械方式同时调节，稳定性较强。

技术领域

本发明涉及光刻机光源技术领域，尤其涉及一种光刻机光源发生装置。

背景技术

光刻机是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备，光刻机中，需要激光器作为曝光光源，在生产不同规格芯片时，则需要调节激光器的聚光焦距，激光源的激光光刻精度越高，则需要激光的聚光点直径越小，当激光的聚光点越小时，其能量越大，则非常容易烧坏基板。

因此，有必要提供一种光刻机光源发生装置解决上述技术问题。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明是提供一种光刻机光源发生装置。

本发明提供的一种光刻机光源发生装置，包括：底板、安装筒、激光源、调节镜筒、连接驱动机构和光源强度调节机构，所述底板中部开设有通孔，所述底板表面等距固定有固定柱，三个所述固定柱顶部固定有顶板，所述安装筒固定在顶板中部，且安装筒顶部贯穿顶板，所述激光源插接在安装筒内壁，且激光源与顶板固定连接，所述调节镜筒套设在安装筒外侧下端，所述安装筒外侧下端等距开设有弧形槽，所述调节镜筒内壁等距固定有拨柱，且拨柱与弧形槽内壁滑动连接，所述调节镜筒内壁底部固定有聚光镜片，所述调节镜筒外侧等距固定有驱动齿，所述连接驱动机构安装在顶板下表面，所述光源强度调节机构安装在顶板上表面靠近连接驱动机构的一端，且调节镜筒通过连接驱动机构与光源强度调节机构相连接。

优选的，所述光源强度调节机构包括底座、连接柱、圆形槽、电阻器、L形导电柱、导电槽、转动壳、导电头和导电弹性柱，所述顶板顶部固定有底座，所述底座顶部固定有连接柱，所述连接柱外侧中部开设有圆形槽，所述圆形槽内壁镶嵌固定有若干电阻器，所述电阻器的正负电位分别固定有L形导电柱，且两个L形导电柱的端部朝向相反，所述底座上表面同心镶嵌固定有两个导电槽，且导电槽与激光源的电源电性连接，所述连接柱外侧通过轴承转动连接有转动壳，所述转动壳内壁依次固定有两个导电头，且两个导电头分别与两个L形导电柱的端部滑动接触，所述转动壳底部对称固定有导电弹性柱，且两个导电弹性柱分别与两个导电头电性连接，两个所述导电弹性柱分别与两个导电槽内壁滑动连接。

优选的，所述电阻器的电阻值依次增加。

优选的，所述L形导电柱的端部固定有导电弹片，且导电弹片呈梯形设置，所述导电头底部设有圆角，且导电头与导电弹片表面滑动连接。

优选的，所述连接驱动机构包括L形板、转轴、第一齿轮、第二齿轮、齿轮环、蜗轮、固定座、蜗杆和电机，所述顶板下表面固定有L形板，所述L形板一端通过轴承转动连接有转轴，且转轴顶部通过轴承与顶板转动连接，所述转轴底部固定有第一齿轮，所述第一齿轮与驱动齿啮合连接，所述转轴顶部穿过顶板固定有第二齿轮，所述转动壳外侧固定有齿轮环，且第二齿轮与齿轮环啮合连接，所述转轴上端位于顶板下表面固定有蜗轮，所述底板下表面靠近蜗轮的一端对称固定有固定座，两个所述固定座中部通过轴承转动连接有蜗杆，且蜗杆与蜗轮啮合连接，一个所述固定座一侧固定有电机，且电机的输出端与蜗杆固定连接。

优选的，所述转轴下端固定有第三齿轮，所述L形板内壁固定有编码器，所述编码器的输出端固定有第四齿轮，且第三齿轮与第四齿轮啮合连接。

优选的，所述顶板表面对称固定有安装板，且安装板表面开设有安装孔。