[发明专利]滤波器电路

权利要求书

1.一种滤波器电路，设置于使用等离子体来进行基板的处理的等离子体处理装置，该等离子体是使用4MHz以上的第一频率的电力和100Hz以上且小于4MHz的第二频率的电力来生成的，所述滤波器电路具备：

第一滤波器部，其设置于设置在所述等离子体处理装置内的导电构件与用于向所述导电构件供给控制电力的电力供给部之间的布线，所述控制电力是小于100Hz的第三频率的电力或直流电力；以及

第二滤波器部，其设置于所述布线的处于所述第一滤波器部与所述电力供给部之间的部分，

其中，所述第一滤波器部具有：第一线圈，其串联地连接于所述布线，所述第一线圈不具有芯材或者具有相对磁导率小于10的第一芯材；以及串联谐振电路，其连接在所述布线与地之间，所述串联谐振电路具有被串联地连接的线圈和电容器，

所述第二滤波器部具有第二线圈，所述第二线圈串联地连接于所述布线的处于所述第一线圈与所述电力供给部之间的部分，所述第二线圈具有相对磁导率为10以上的第二芯材。

2.根据权利要求1所述的滤波器电路，其特征在于，

所述串联谐振电路具有的电容器为真空电容器。

3.根据权利要求1或2所述的滤波器电路，其特征在于，

所述第二芯材是粉压件、坡莫合金或钴系非晶质。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的滤波器电路，其特征在于，

所述第二滤波器部具有电容器，该电容器设置于布线的处于所述第二线圈与所述电力供给部之间的部分同地之间。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的滤波器电路，其特征在于，

所述导电构件是用于控制所述基板的温度的加热器。

6.根据权利要求1至5中的任一项所述的滤波器电路，其特征在于，

布线的处于所述导电构件与所述第一滤波器部之间的部分、布线的处于所述第一滤波器部与所述第二滤波器部之间的部分、以及布线的处于所述第二滤波器部与所述电力供给部之间的部分的杂散电容为500pF以下。

7.根据权利要求1至5中的任一项所述的滤波器电路，其特征在于，

在所述等离子体处理装置内设置有多个所述导电构件，

所述第一滤波器部具有多个所述第一线圈以及一个以上的所述串联谐振电路，

各个所述第一线圈是以针对各个所述导电构件各设置一个的方式设置的，

各个所述串联谐振电路是以两个以上的所述第一线圈共用一个串联谐振电路的方式设置的。

8.根据权利要求1至5中的任一项所述的滤波器电路，其特征在于，

在所述等离子体处理装置内设置有多个所述导电构件，

所述第一滤波器部具有以针对各个所述导电构件各设置一个的方式设置的多个所述第一线圈，

所述串联谐振电路具有一个以上的电容器和以针对各个所述导电构件各设置一个的方式设置的多个线圈，

所述串联谐振电路具有的各个线圈与各个所述第一线圈串联地连接，

所述串联谐振电路具有的各个电容器是以一个以上的所述第一线圈和所述串联谐振电路具有的一个以上的线圈共用一个电容器的方式设置的。

9.根据权利要求1至8中的任一项所述的滤波器电路，其特征在于，

所述第一频率的电力包含不同频率的多个电力，

所述串联谐振电路包括以各个电力的频率分别为谐振频率的多个独立串联谐振电路。

10.一种滤波器电路，设置于使用等离子体来进行基板的处理的等离子体处理装置，该等离子体是使用4MHz以上的第一频率的电力和100Hz以上且小于4MHz的第二频率的电力来生成的，所述滤波器电路具备：

第一滤波器部，其设置于设置在所述等离子体处理装置内的多个导电构件与用于向各个所述导电构件分别独立地供给控制电力的电力供给部之间的布线，所述控制电力是小于100Hz的第三频率的电力或直流电力；以及

第二滤波器部，其设置于所述布线的处于所述第一滤波器部与所述电力供给部之间的部分，

其中，所述第一滤波器部具有：

多个第一线圈，所述多个第一线圈是以针对各个所述导电构件各设置一个的方式设置的，所述第一线圈串联地连接于与各自的所述导电构件连接的所述布线，各所述第一线圈不具有芯材或者具有相对磁导率小于10的第一芯材；以及一个以上的电容器，所述电容器是以两个以上的所述第一线圈共用一个电容器的方式设置的，所述电容器连接在所述布线的处于所述第一线圈与所述第二滤波器部之间的部分同地之间，

所述第二滤波器部具有多个第二线圈，所述多个第二线圈是以针对各个所述导电构件各设置一个的方式设置的，多个所述第二线圈串联地连接于所述布线的各自的所述第一线圈与所述电力供给部之间的部分，所述第二线圈具有相对磁导率为10以上的第二芯材。