[发明专利]滤波器电路

说明书

本发明涉及一种滤波器电路。滤波器电路设置于使用等离子体进行处理的等离子体处理装置，该等离子体是使用4MHz以上的第一频率的电力和100Hz以上且小于4MHz的第二频率的电力来生成的，该滤波器电路具备第一滤波器部和第二滤波器部。第一滤波器部设置于等离子体处理装置内的导电构件与用于向导电构件供给小于100Hz的第三频率的电力或直流电力的电力供给部之间的布线。第二滤波器部设置于第一滤波器部与电力供给部之间的布线。第一滤波器部具有与串联地连接于布线的第一线圈、以及连接于布线与地之间的串联谐振电路。第二滤波器部具有串联地连接于第一线圈与电力供给部之间的布线的第二线圈。

技术领域

本公开的各种侧面和实施方式涉及一种滤波器电路。

背景技术

例如在下述专利文献1中公开了一种具备第一电源28及第二电源30、加热线40、加热器电源58以及滤波器54的等离子体处理装置。滤波器54的第一滤波器84A包括由空芯线圈AL1和电容器AC1构成的初级滤波器、以及由环形线圈AL2和电容器AC2构成的次级滤波器。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014-229565号公报

发明内容

发明要解决的问题

本公开提供一种能够抑制向等离子体供给的电力泄漏到电力供给部、并且抑制等离子体的电力损失的滤波器电路。

用于解决问题的方案

本公开的一个侧面是一种滤波器电路，设置于使用等离子体来进行处理的等离子体处理装置，该等离子体是使用4MHz以上的第一频率的电力和100Hz以上且小于4MHz的第二频率的电力来生成的，所述滤波器电路具备第一滤波器部和第二滤波器部。第一滤波器部设置于设置在等离子体处理装置内的导电构件与用于向导电构件供给控制电力的电力供给部之间的布线，所述控制电力是小于100Hz的第三频率的电力或直流电力。第二滤波器部设置于所述布线的处于第一滤波器部与电力供给部之间的部分。另外，第一滤波器部具有：第一线圈，其串联地连接于布线，所述第一线圈不具有芯材或者具有相对磁导率小于10的第一芯材；以及串联谐振电路，其连接在导电构件与电力供给部之间的布线同地之间，所述串联谐振电路具有被串联地连接的线圈和电容器。第二滤波器部具有第二线圈，所述第二线圈串联地连接于所述布线的处于第一线圈与电力供给部之间的部分，所述第二线圈具有相对磁导率为10以上的第二芯材。

发明的效果

根据本公开的各种侧面和实施方式，能够抑制向等离子体供给的电力泄漏到电力供给部，并且抑制等离子体的电力损失。

附图说明

图1是表示本公开的一个实施方式中的等离子体处理装置的一例的概要截面图。

图2是表示静电吸盘的区域分布的一例的俯视图。

图3是表示本公开的一个实施方式中的滤波器电路的一例的图。

图4是表示400kHz的频率下的布线的阻抗相对于布线的寄生电容的一例的图。

图5是表示在基板的表面产生的电压大小相对于13MHz的RF电力的大小的一例的图。

图6是表示在基板的表面产生的电压大小相对于400kHz的RF电力的大小的一例的图。

图7是表示滤波器电路的其它例的图。

图8是表示滤波器电路的其它例的图。

图9是表示等离子体处理装置的其它例的概要截面图。

图10是表示图9所例示的等离子体处理装置具有的滤波器电路的一例的图。

图11是表示滤波器电路的其它例的图。