[发明专利]一种低温丝网印刷装置

权利要求书

1.一种低温丝网印刷装置，其特征在于，包括：

印台，用于放置印刷基材；

丝网印刷版，与所述印刷基材的被印刷面间隙设置，设置有印刷图形；

刮板，用于通过向所述印刷基材压抵所述丝网印刷版，在所述被印刷面上印制印刷层；

低温模块，用于向所述基材的被印刷面和/或所述印刷版上的印刷附着物配置降低所述印刷附着物特性变化速率的低温。

2.根据权利要求1所述的低温丝网印刷装置，其特征在于：所述印刷基材为晶圆级玻璃、平板型玻璃、晶圆级模封物、平板型模封物、平板型玻璃、晶圆级硅片、太阳能基板或PCB板；所述印刷附着物为胶水、油墨或用于晶圆级玻璃与CIS晶圆键合的键合胶。

3.根据权利要求2所述的低温丝网印刷装置，其特征在于：所述印刷附着物为使晶圆级玻璃和CIS晶圆进行键合的键合胶，所述低温的区间为0℃-20℃。

4.根据权利要求1所述的低温丝网印刷装置，其特征在于：所述低温丝网印刷装置还包括工作腔体，所述印台、丝网印刷版和所述刮板均设置在所述工作腔体内，所述低温模块用于向所述工作腔体内配置所述低温。

5.根据权利要求4所述的低温丝网印刷装置，其特征在于：所述低温丝网印刷装置还包括干燥模块，所述干燥模块用于所述工作腔体内的除湿。

6.根据权利要求4或5所述的低温丝网印刷装置，其特征在于：所述低温模块用于通过向所述工作腔体内充斥气体配置所述低温。

7.根据权利要求6所述的低温丝网印刷装置，其特征在于：所述气体包括干燥空气、氮气或CDA。

8.根据权利要求4所述的低温丝网印刷装置，其特征在于：所述低温丝网印刷装置还包括网版进出口模块；所述网版进出口模块用于在所述工作腔体外与所述印台之间运输所述丝网印刷版；所述工作腔体内还设置有网版与玻璃对准模块；所述网版与玻璃对准模块用于在所述印刷基材到达印台后，将所述印刷基材与所述丝网印刷版进行精确对准。

9.根据权利要求4所述的低温丝网印刷装置，其特征在于：所述低温丝网印刷装置还包括上下料腔体；所述上下料腔体设置在所述工作腔体的一侧，用于放置未印制的印刷基材和印制后的所述印刷基材，并形成所述工作腔体的上料或下料空间。

10.根据权利要求9所述的低温丝网印刷装置，其特征在于：所述工作腔体内还设置有预对准与检测模块、机械手模块及缓存区；所述预对准模块用于完成所述印刷基材的预对准；所述缓存区用于存储印制完成的所述印刷基材；所述机械手模块用于在所述上下料腔体-预对准与检测模块-印台-缓存区之间运输所述印刷基材。