[发明专利]一种刻蚀废液混酸的回收再利用处理方法

权利要求书

1.一种刻蚀废液混酸的回收再利用处理方法，其特征在于：其方法步骤如下：

S1：混酸刻蚀废液过滤；

S2：混酸刻蚀废液进行电解处理；

S3：对电解产生的氯气进行收集处理；

S4：镍离子的处理分离；

S5：对废液进行浓缩预处理。

2.根据权利要求1所述的刻蚀废液混酸的回收再利用处理方法，其特征在于：所述S1中，首先将混酸刻蚀废液通过过滤器进行过滤，将废液中较大的固体杂质进行过滤掉，保证废液中没有肉眼可见的固体杂质，得到过滤后的废液I。

3.根据权利要求1所述的刻蚀废液混酸的回收再利用处理方法，其特征在于：所述S2中，将过滤后的废液I输送至收集池中进行收集，然后进行电解处理，将废液I输送至膜电解槽中，废液I在膜电解槽的阴极室和阳极室内进行电解反应，进而使废液I中的大量铜离子在阴极室被还原转化成铜，在阳极室生成氯气。

4.根据权利要求1所述的刻蚀废液混酸的回收再利用处理方法，其特征在于：所述S3中，通过将阳极室电解产生的氯气通过氯气吸收设备进行吸收并将吸收后的氯气导入至碱液中，碱液的温度控制在40-70℃，导入后的氯气与碱液产生反应，生成可以替代原蚀刻生产中需要使用添加的氧化剂使用的混合溶液，使蚀刻废液中的铜离子能被有效电解，并进行转化成生成铜，进行转化后的铜沉淀于槽底。

5.根据权利要求1所述的刻蚀废液混酸的回收再利用处理方法，其特征在于：所述S4中，铜沉淀于膜电解槽的阴极室底部，将上层不含铜离子的废液抽出，并放置于收集槽I中，实现将废液中的铜离子分离，此时形成了不含铜离子的废液II，且废液II中只含有少量的镍离子，通过向收集槽I中加入镍离子沉淀剂，镍离子沉淀剂为草酸盐，将废液II中的镍离子进行沉淀6-8小时，使废液II中的镍离子沉淀于收集槽I底部，将收集槽I内沉淀的镍上方的废液抽出，并输送至收集槽II中，此时得到位于收集槽II中去除了铜离子和镍离子的废液III。

6.根据权利要求1所述的刻蚀废液混酸的回收再利用处理方法，其特征在于：所述S5中，将去除铜离子和镍离子的废液III输送时至搪瓷釜中并进行加热浓缩处理，搪瓷釜内的温度达到90度以上时开始有水分蒸发出，根据出馏的速度逐步升高搪瓷釜的温度，搪瓷釜内最终的加热温度控制在140-160℃，并对蒸发出的水蒸气进行收集冷却处理，收集后的冷却水可用于再使用，得到浓缩后的废液IV，并对得到的废液IV进行收集，当需要使用时，再将所得到的废液IV回用到蚀刻线上。