[发明专利]一种舟杆机构在审
申请号: | 202111302419.9 | 申请日: | 2021-11-04 |
公开(公告)号: | CN114023673A | 公开(公告)日: | 2022-02-08 |
发明(设计)人: | 陈李松;陈若愚;张超;余洋 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;F16J15/16 |
代理公司: | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人: | 徐好 |
地址: | 410111 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 机构 | ||
1.一种舟杆机构,其特征在于:包括舟杆(1)、密封座(2)、用于带动舟杆(1)旋转的旋转部件(3)、以及用于带动舟杆(1)升降的升降部件(4),所述舟杆(1)一端穿设于所述密封座(2)中且两者之间设有第一密封件(21),所述密封座(2)上设有出气接头(22),所述出气接头(22)连接有压力检测部件。
2.根据权利要求1所述的舟杆机构,其特征在于:所述出气接头(22)还连接有抽气泵。
3.根据权利要求2所述的舟杆机构,其特征在于:所述密封座(2)上还设有进气接头(23)。
4.根据权利要求3所述的舟杆机构,其特征在于:所述第一密封件(21)设有多个并沿所述舟杆(1)的轴向间隔布置,所述第一密封件(21)配设有第一压紧套(24),所述密封座(2)上设有用于压紧所述第一压紧套(24)的压紧螺母(25),所述舟杆(1)穿设于所述压紧螺母(25)中。
5.根据权利要求4所述的舟杆机构,其特征在于:所述第一压紧套(24)外壁上设有凹槽并与所述出气接头(22)或进气接头(23)对应。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的舟杆机构,其特征在于:所述舟杆(1)另一端穿设于一安装座(5)中,所述安装座(5)与所述舟杆(1)之间设有第一滚动轴承(51)。
7.根据权利要求6所述的舟杆机构,其特征在于:还包括连接套(11),所述连接套(11)通过第一紧固件(12)固定于所述舟杆(1)上,所述第一滚动轴承(51)设于所述连接套(11)与所述安装座(5)之间,所述旋转部件(3)套设于所述舟杆(1)上并通过第二紧固件(31)与所述连接套(11)固定连接。
8.根据权利要求7所述的舟杆机构,其特征在于:所述第一紧固件(12)与所述连接套(11)之间设有第二密封件(13),所述连接套(11)与所述舟杆(1)之间设有第三密封件(14),所述旋转部件(3)与所述舟杆(1)之间设有第四密封件(15),所述第三密封件(14)和所述第四密封件(15)配设有第二压紧套(16)。
9.根据权利要求7所述的舟杆机构,其特征在于:所述旋转部件(3)为同步带轮。
10.根据权利要求1至5中任一项所述的舟杆机构,其特征在于:所述升降部件(4)套设于所述舟杆(1)上且两者之间设有第二滚动轴承(41),所述第二滚动轴承(41)两侧设有推力轴承(42),所述舟杆(1)上设有用于固定所述推力轴承(42)的固定环(17)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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