[发明专利]一种舟杆机构

说明书

本发明公开了一种舟杆机构，包括舟杆、密封座、用于带动舟杆旋转的旋转部件、以及用于带动舟杆升降的升降部件，所述舟杆一端穿设于所述密封座中且两者之间设有第一密封件，所述密封座上设有出气接头，所述出气接头连接有压力检测部件。本发明具有能够实现舟杆的直线运动和旋转运动，实时检测是否发生泄漏等优点。

技术领域

本发明涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种舟杆机构。

背景技术

随着半导体行业的飞速发展以及国外实施严密的技术封锁，国家对半导体设备技术的开发显得更为迫切。半导体设备的核心工艺过程大都需要一个可靠的真空或者压力环境，并且需要满足基片多维运动的动态工艺过程。现有半导体设备中基片的工艺过程大都只需简单的直线运动或者直接固定放入工艺腔室进行工艺，设备满足要求的密封机构相对简单。高质量以及特殊半导体材料的生产往往需要在高真空、高压力的工艺环境下实现多维的动态工艺过程，现有设备的舟杆机构无法满足。

发明内容

本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种能够实现舟杆的直线运动和旋转运动，实时检测是否发生泄漏的舟杆机构。

为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：

一种舟杆机构，包括舟杆、密封座、用于带动舟杆旋转的旋转部件、以及用于带动舟杆升降的升降部件，所述舟杆一端穿设于所述密封座中且两者之间设有第一密封件，所述密封座上设有出气接头，所述出气接头连接有压力检测部件。

作为上述技术方案的进一步改进：所述出气接头还连接有抽气泵。

作为上述技术方案的进一步改进：所述密封座上还设有进气接头。

作为上述技术方案的进一步改进：所述第一密封件设有多个并沿所述舟杆的轴向间隔布置，所述第一密封件配设有第一压紧套，所述密封座上设有用于压紧所述第一压紧套的压紧螺母，所述舟杆穿设于所述压紧螺母中。

作为上述技术方案的进一步改进：所述第一压紧套外壁上设有凹槽并与所述出气接头或进气接头对应。

作为上述技术方案的进一步改进：所述舟杆另一端穿设于一安装座中，所述安装座与所述舟杆之间设有第一滚动轴承。

作为上述技术方案的进一步改进：还包括连接套，所述连接套通过第一紧固件固定于所述舟杆上，所述第一滚动轴承设于所述连接套与所述安装座之间，所述旋转部件套设于所述舟杆上并通过第二紧固件与所述连接套固定连接。

作为上述技术方案的进一步改进：所述第一紧固件与所述连接套之间设有第二密封件，所述连接套与所述舟杆之间设有第三密封件，所述旋转部件与所述舟杆之间设有第四密封件，所述第三密封件和所述第四密封件配设有第二压紧套。

作为上述技术方案的进一步改进：所述旋转部件为同步带轮。

作为上述技术方案的进一步改进：所述升降部件套设于所述舟杆上且两者之间设有第二滚动轴承，所述第二滚动轴承两侧设有推力轴承，所述舟杆上设有用于固定所述推力轴承的固定环。

与现有技术相比，本发明的优点在于：本发明公开的舟杆机构，利用旋转部件带动舟杆旋转，利用升降部件带动舟杆升降，使得舟杆可以带动石墨舟或石墨舟架内的基片实现多维的动态工艺过程，舟杆一端穿设于密封座中且在两者之间设有第一密封件，利用第一密封件实现舟杆的动态密封，密封座上设有出气接头并连接压力检测部件，当出现泄漏时，压力检测部件检测到的压力会出现变化，从而及时地给出提示。

附图说明

图1是本发明舟杆机构的结构示意图。

图2是图1中A处的放大图。

图3是图1中B处的放大图。